中古 EFTY LGP-15S-I #9263631 を販売中

EFTY LGP-15S-I
ID: 9263631
ヴィンテージ: 2012
Single side polisher Desktop type Ceramic surface plate: φ380 Manual included 2012 vintage.
EFTY LGP-15S-Iは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この完全自動化されたマシンは、1時間あたり最大575(標準ウェーハサイズ)のウェーハの処理能力を備えており、優れたプロセス制御と高度な一貫性を提供します。このシステムは、印象的なウエハハンドリングユニットを備えています。1つのウエハーを最初に測定して整列させ、使用する特定の式に適した1つの研削ホイールにロードします。研削ホイールは、必要なウェーハの厚さを達成し、表面の地形を所望の仕様に調整するために必要な正確なパラメータに設定されます。高度なラッピングプロセスを使用して、ウェーハは2つの回転ダイヤモンドラップを通過し、精密な表面平滑化を行います。一連の独立したブラシステーションは、ラッピングプロセスのために最大限の表面接触を保証しながら、製造ゴミを適切にチャネル化して清掃するために使用されます。最後に、徐々に細かいダイヤモンド研磨機と滑らかな布の研磨ブラシを使用して研磨が行われます。これにより、ウェーハ表面が均一で、反射性が高く、粒子がないことが保証されます。LGP-15S-Iはまた、強力で使いやすいコントロールインターフェイスを誇っています。この装置により、切断、研削、研磨のプロセスを素早く設定し、効率的に管理することができます。これにより、オペレータは大量のプロセスデータを維持し、パラメータや設定を簡単に変更することができます。また、処理中にウェーハを均等に冷却するように設計された高速かつ効率的な冷却機を備えています。全体として、EFTY LGP-15S-Iは最高レベルのウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、精度と一貫性、効率と信頼性を提供します。高度な設計とオートメーション機能により、多くの半導体企業にとって選択のソリューションとなっています。
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