中古 EFG INGOT SAPS #9173291 を販売中

EFG INGOT SAPSは、コンピューター制御の「ウェーハ研削、ラッピング&研磨」装置で、各種ウェーハの事前研磨および研削用に特別に設計されています。ウェーハの均一な研磨と研磨を実現するために、特別に設計された衝撃波研磨プロセスを利用した機械統合ウェーハ準備（MIWP）システムです。衝撃波研磨プロセスは、ウェーハ表面の材料を効率的に研削、ラップ、研磨するために、特別に設計されたツール（ダイヤモンドまたは多結晶ホウ素窒化物）を使用することを含みます。これとは別に、このユニットは、自動的に研削と研磨プロセス全体を監視し、制御するプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を統合しています。また、研削および研磨プロセスの異常をすばやく検出し、適切な信号をPLCに送信する幅広いセンサーを備えています。最大回転速度8,000rpmの最大直径400mmまでのウェーハの研削、ラッピング、研磨が可能です。± 0。1mm/sの送り速度精度を実現できる高度なデジタル電子制御ユニットを搭載しています。このツールは、操作者が圧力、速度、ツールの種類など、プロセスのさまざまなパラメータを制御するのに役立つ直感的なユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このGUIは、表面仕上げ、粗さ、およびその他のパラメータなどの研削および研磨プロセスの結果を分析および提示するのにも役立ちます。このアセットはさらに、研削および研磨工程中に発生する可能性のあるエラーや欠陥のコスト、正確な分析と予測を可能にし、高効率と品質を確保します。効率的な運転を実現するために、研削・研磨工程の事前プログラミングに役立つ高度なオートメーション装置を搭載し、人為的ミスを排除し、より高い精度を実現しています。また、プロセス中にマテリアルインタフェースを監視するフィードバックシステムを備えており、マテリアルインタフェース条件に応じてフィードレートを調整することができます。さらに、このユニットは統合された熱減速機を備えており、プロセス中のウェーハへの熱損傷を低減するのに役立ちます。全体として、SAPSは高度で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、さまざまな種類のウェーハの正確で均質な研削および研磨を保証します。このアセットには、高度な自動化モデルとユーザーフレンドリーなGUIが装備されており、研削および研磨プロセス全体を制御、監視、分析するのに役立ちます。さらに、装置内のさまざまな熱削減およびフィードバックシステムにより、効率的で高品質な動作を実現します。