中古 EBARA Frex 300SII #9244830 を販売中
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ID: 9244830
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
CMP System, 12"
Process: Cu
Hirata
(3) Loadports
(2) G3 Heads
RECM
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Nano 9010b
2009 vintage.
EBARA Frex 300SIIは、パワフルで精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。オペレータの介入を最小限に抑えて、最大300mm径のウェーハを処理するように設計されています。EBARA FREX 300 SIIは、高精度スピンドルシステムを内蔵しています。このスピンドルユニット（5軸リニアモータ、小型ピッチボールねじ、渦電流ブレーキ、およびエアーベアリング付きエンコーダ）は、優れた表面仕上げと卓越した表面平面性のために最大10のマイクロステップ精度を提供します。マシンはまた、3段階のラッピングプロセスを誇っています。まず、ウェーハは半導体ウェーハ平面化を受けます。このプロセスにより、ウェーハの地形のばらつきが低減され、平面が形成されます。次に、ランダムエッジチッピング、パーティクル、不規則性などの欠陥を除去するためにウェーハを接地します。最後に、より良い仕上がりを実現するためにウエハを磨きます。このラッピングプロセスにより、測定精度が向上し、スループットが向上します。このツールはさらに、幅広いオプション機能を提供します。独自のCFRPベースにより、振動の減衰とより高い寸法安定性が保証され、より滑らかで正確な回転運動が得られます。液体空冷アセットは、研削および研磨プロセス中に発生する熱を放散するのに役立ちます。このモデルは、消耗品および部品交換オプションも幅広く提供しており、ユーザーは特定のアプリケーションのニーズに合わせて機器をカスタマイズすることができます。最終的に、近接センサーや緊急停止スイッチなど、トップクラスの安全機能を備えています。近接センサーは近くのオペレータの存在を検出しますが、緊急停止スイッチを使用すると、予期しない事故や緊急事態が発生した場合に迅速に操作を終了できます。全体として、FREX 300-SIIは非常に堅牢で正確なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。比類のない精度と精度、幅広い安全機能を備え、安全で効率的なウェーハ加工体験を提供します。
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