中古 EBARA Frex 300S2 #9364502 を販売中
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販売された
ID: 9364502
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
CMP System, 12"
Polisher:
(4) Turn tables
(4) Top rings (GX 8-Area)
(4) Scan dressers
(4) Atomizers
(2) Liner transportors
(2) Turn overs
STP
Controller
(4) Slurry scan nozzles
(4) Wafer slip out sensors
(2) Operation panels
Cleaner:
R/R With megasonic jet
(2) R/R
IPA/SRD
EFEM:
Dry robot
(4) Loadports
(2) Operation panels
ITM NOVA
Slurry nozzle motor type
Auto Calibration
Options:
GX Carrier
Anti static material for wafer exposed surface
Eddy current end point monitor (R-ECM1D)
(2) ME-30 for S-OPM
TCM EPD Controller
Malema slurry flow controller
Light curtain for EFEM
Camera
2015 vintage.
EBARA Frex 300S2は、高精度、高品質のウェーハを製造するために設計された高度な多機能精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。特許取得済みの3面ポリッシングヘッドを備えており、低圧エアーサンディングを利用して表面の不規則性を排除し、谷を深め、平らな表面を荒くするのに役立ちます。また、最大200mmまでのウェーハサイズに対応できるエア駆動研削ヘッドを搭載し、5 μ m/ μ m未満の平坦度まで研磨することが可能です。EBARA F-REX300S2には、カスタマイズ可能な表面仕上げのデュアルベルトラッピングユニットがそれぞれ内蔵されています。ラッピングベルトは、研磨および研削面の上に伸びて一貫した仕上がりを作り出す電解チタン板です。また、ベルト設計により、600°Cまでの温度での使用頻度が大幅に増加し、ラッピングと研磨の効率が向上します。FREX-300 S2には遠隔操作機も搭載しており、遠隔からの研削・ラッピングを操作することができます。これは、サイズや複雑さのために複数のパスを必要とする大きなウェーハを扱う場合に特に有益です。この遠隔操作ツールを使用すると、オペレータはパラメーターを手動で設定することなく、速度、送り深さ、容量などのより高い精度を得ることができます。アセットは使いやすく、メンテナンスも簡単で、研削やラッピング調整が必要なときにオペレータに警告する自動モデル制御装置が含まれています。このソフトウェアはまた、リアルタイムのプロセス監視を備えており、FREX 300 S2をより効率的で使いやすいものにしています。全体的に、EBARA FREX 300 S2は、ウェーハの研削、ラッピング、研磨において優れた精度と品質を達成するための理想的な選択肢です。堅牢な機能セットにより、高精度ウェーハの製造に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。EBARA FREX-300 S2は、ウェーハ加工の最高水準を達成するための最適な選択肢です。
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