中古 EBARA Frex 300S2 #9364498 を販売中

EBARA Frex 300S2
ID: 9364498
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
CMP System, 12" Polisher: (4) Turn tables (4) Top rings (GX 8-Area) (4) Scan dressers (4) Atomizers (2) Liner transportors (2) Turn overs STP Controller (4) Slurry scan nozzles (4) Wafer slip out sensors (2) Operation panels Cleaner: R/R With megasonic jet R/R 2FJ IPA/SRD EFEM: Dry robot (4) Loadports (2) Operation panels ITM NOVA Slurry nozzle motor type Auto calibration Options: GX Carrier Anti static material for wafer exposed surface Eddy current end point monitor (R-ECM1D) (2) ME-30 for S-OPM TCM EPD Controller Malema slurry flow controller Light curtain for EFEM Camera 2015 vintage.
EBARA Frex 300S2は、ハイエンド半導体ウェーハの加工において、精密かつ再現性のある結果を提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA F-REX300S2は、高性能な3軸モーションコントローラとマイクロステップドライブを採用し、研削、ラッピング、研磨プロセスを非常に正確に制御することができ、従来のシステムでは実現できなかった品質と再現性を実現します。FREX-300 S2は300mm (12インチ)のプラテン設計により、ウェーハや薄い基板の摩耗に大きなプロセス領域を提供します。また、強力な400Wスピンドルモーターを備えており、細かい仕上げのための高いトルクを提供します。スピンドルベルト駆動システムは0。01 μ mの精度を可能にし、パワーアシスト技術とコンピュータ数値制御(CNC)ユニットは速度でも優れた精度を実現します。FREX 300 S2は容易な維持および操作のために設計されています。それにプログラム可能な階層機械があり、容易な適応および有効な操作を可能にします。精度を損なうことなく振動を最小限に抑える堅牢で堅牢な設計です。さらに、この設計により、すべてのコンポーネントに迅速かつ簡単にアクセスでき、メンテナンスとセットアップが迅速かつ便利なプロセスになります。EBARA FREX-300 S2には、最先端の安全ツールも搭載されています。それはオペレータ入力を減らし、操作を容易にするスプラッシュチャンバーおよび中央空気制御弁を含んでいます。オプションのRC負荷監視アセットにより、タスクを監視および制御し、欠陥または不均一なサーフェスを引き起こす可能性のある損傷または誤動作を防止します。結論として、F-REX300S2はウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの最先端を表しています。その高度な機能と直感的な設計は、ハイエンド半導体ウェーハの製造に必要な精度と精度を提供し、安全で信頼性の高いユーザーエクスペリエンスを提供します。比類のない性能、信頼性、ユーザーフレンドリーな機能を備えたEBARA FREX 300 S2は、効率的で信頼性の高い再現性の高い生産を求めるあらゆるメーカーに最適です。
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