中古 EBARA Frex 300S2 #9351475 を販売中

EBARA Frex 300S2
ID: 9351475
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
CMP System, 12" 2009 vintage.
EBARA Frex 300S2は、ウェーハや薄膜の精密超音波加工に特化したウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。太陽電池、薄膜トランジスタ、薄膜集積回路、光半導体、その他の先進的なウェハ型デバイスなど、幅広いウェハアプリケーションに適しています。高速で高精度な石英セラミック研削、ラッピング、研磨のための高精度リニアモーターステージを備えています。このモータ駆動ユニットは、2つの連続速度と6つのステップ速度を含む幅広いスピンドル速度を可能にします。さらに、このマシンには、スピンドル回転速度をフルオートメーションするためのステップモーターとジョイスティックが含まれています。EBARA F-REX300S2は、密閉されたダストフリーのワークスペース、調整可能な研削ホイールと流量セレクタ、多線形電極スピンドルなど、最適な研削/ラッピングソリューションを提供します。高精度のリニアモーターステージにより、再現性を最大限に高め、高精度で安定した結果を得るための低力フィード研削機構を備えています。さらに、このアセットは、スピンドル速度、送り速度、ホイール角度、傾斜角度などの操作パラメータをプログラム可能に制御します。FREX-300 S2には、スピンドルの正確な動きのための高度なエアベアリングガイドモデルと、機器の振動を低減するための振動絶縁設計も含まれています。さらに、研削ステージと研削パッドの状態を表示するLEDインジケータと、完了までの残り時間を装備しています。最後に、研削およびラッピング石、粉末、カーボン研磨摩耗パッド、ポリウレタンパッドなど、さまざまな研削加工およびラッピング製品と互換性があります。全体的に、EBARA FREX-300 S2は、幅広いニーズに対応するように設計された高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。最適化された研削およびラッピングソリューション、最高の再現性を実現する高精度のリニアモーターステージ、正確で一貫した結果を得るための低力供給研削メカニズム、および操作パラメータに対するプログラム可能な制御を備えています。さらに、密閉されたほこりのないワークスペース、調整可能な研削砥石と流量セレクタ、および高度なエアベアリングガイドツールにより、薄膜およびウェハベースのデバイスの製造において最高の精度を保証します。
まだレビューはありません