中古 EBARA Frex 300S2 #9311211 を販売中

EBARA Frex 300S2は、75µm〜10mmの厚さからウェーハを加工するために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。フラット、蛇行、または溝のあるウェーハの製造用に設計されており、ウェーハ表面における+/-2µmの高精度耐性を備えています。このマシンは、180°までの精度、再現可能な角度を提供するために、マルチポジションスイベルテーブルと組み合わせた、堅牢で高速研削スピンドルを備えています。研削シリンダーは、研削面に沿ってダイヤモンドグリットを均等に広げた自己完結型ユニットであり、滑らかなエッジと非常にタイトな公差で非常に正確な研削を可能にします。ウェーハの長さを正確に測定し、ウェーハのレベルを維持するために、レーザーエンコーダが付属しています。スピンドル速度と送り速度の範囲を使用して、マシンは75µmから10mmまでウェーハを研削することができます。研削バイブレーターは、ウェーハの硬さの変化による研削特性の変化に対応するためにも調整可能です。機械のラッピングおよび研磨部品は、+/-2µmのより高いウェーハ公差を可能にします。ダイヤモンドおよび炭化ホウ素の研摩剤の範囲は要求された終わりを達成するのに使用することができます。自動ドーザーシステムは、適切な量の研磨剤を正確に投与するために、所望の仕上げを達成するための可変圧力と速度を備えています。再現性と単位精度を確保するために、EBARA F-REX300S2には、PLC制御マシンとオンボードプロセスログ、および自動eストップツールが含まれています。アセットはオペレータの介入を減らすように設計されており、内蔵モデルはリップル研削とエラーを自己補正します。e-ストップ装置は、オペレータが緊急時に安全にマシンを停止することができます。さらに、機内残留洗浄システム、意図しない摩耗にさらされた部品の自動保護、ボード事故防止機能など、いくつかの安全機能を備えています。全体として、FREX-300 S2は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に優れた結果を提供するように設計された高度な機械です。