中古 EBARA Frex 300S2 #9290831 を販売中

EBARA Frex 300S2は、さまざまなサイズのウェーハに対応し、均一な表面平坦性を提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハの正確かつ再現可能なアライメントを実現する3軸プリアライメントシステムと、正確なウェーハエッジ位置決めを実現する高精度リニアモータフィードユニットを備えています。研削とラッピングステージは、精密ダイヤモンドホイールと研磨パッドを組み合わせて、ウェーハ表面を滑らかに平らにします。EBARA F-REX300S2は、アプリケーションに応じて最適なプロセスに対応するために、回転、傾き、スピンドル速度の独立した制御を可能にする分散駆動機を備えています。ウェーハの均一な平坦性を維持し、ディッシュとチャッターを低減するために、高度なモーター式の真空クランプツールが採用されています。FREX-300 S2のその他の機能には、ほこりの少ないエアパージエンクロージャ、正確な温度制御、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス、およびプロセス制御を強化するための高度な診断が含まれます。さらに、アセットは、単一および複数のウェーハの繰り返し可能なインライン処理を提供し、迅速なロードとアンロードのために設計されています。全体的F-REX300S2、精密モーションコントロール、自動化された製造プロセス、および正確な温度制御により、ウェーハの迅速な研削、ラッピング、研磨に最適です。表面平坦性と再現性に優れたFREX 300 S2は、幅広いウエハ加工用途に必要な精度と柔軟性を提供します。