中古 EBARA Frex 300S2 #293606311 を販売中
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EBARA Frex 300S2ウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、生産環境で精密、高性能な研削、ラッピング、研磨ソリューションを提供するように設計されています。本装置は、一体型の研削ユニット、ラッピングプレート、研磨ヘッドで構成され、コンピュータ制御によりウェーハ厚5 μ mまでの切断が可能です。マシンは、グラインダーユニットとラッピングとポリッシングヘッドの2つの主要な部品で構成されています。グラインダーユニットは、ウェハの表面積から余分な材料を粉砕する機能を備えたシステムのワークホースです。ダイヤモンド研削砥石を採用し、0。001um以上の材料を除去し、高精度な仕上がりを実現しています。カスタムモーター、最適化された速度と送り速度、ならびにスピンドルおよび駆動ユニットにより、グラインダーユニットはタッチパネルを介して制御され、ユーザーは砥石の軌道制御をプログラムできます。ラッピングとポリッシングヘッドは、各ウェーハに仕上げを適用する際に、より高い精度を達成するように設計されたユニットの2番目のアームです。このユニットにはラッピングプレートが装備されており、ラッピングエージェントを使用して超滑らかな表面を作成することができます。ラッピング剤は、鏡のような表面を達成するために、ミクロンの数10分の1を除去することができるダイヤモンド化合物、研磨剤、潤滑剤で構成されています。ラッピングプレートは高度に調整された圧力で回転し、研磨ヘッドは目的の仕上げを達成するために研磨剤を適用します。ポリッシングヘッドは、タッチパネルによって制御され、プログラマブルなパラメータと条件により、制御されたポリッシングプロセスを可能にします。EBARA F-REX300S2ウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、高精度のウェーハ研削と研磨を実現するための貴重なツールです。そのパワーと精度の組み合わせは、最高水準のウェーハを生産することができます、そのカスタムモーターと調整可能な速度は、優れた再現性につながりました。コンピュータ制御の下で作動する粉砕機の単位、ラッピング版および磨く頭部によって、この機械は精密粉砕、ラッピングおよび磨くことの最もよい結果を提供することができます。
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