中古 EBARA Frex 300S #9402500 を販売中

EBARA Frex 300Sは、高品質の半導体デバイスの生産をサポートするように設計された半自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、優れたプロセス制御結果を提供するための幅広い機能とアクセサリを備えています。ユニットの中心には、2〜10キロパスカルの力を発生させることができる研磨/研磨モータがあり、高精度、再現可能な研削および研磨結果を提供するように設計されています。モーターは精密な磨く圧力設定を可能にする精密な力制御のためのステッピングモーター制御が装備されています。トリミングおよびエンドフェイス仕上げモードは機械にプログラムすることができ、レベルや傾斜研磨などの高度な機能を提供します。EBARA FREX300Sには、圧力、ギャップフリーラップ、精密制御のための真のトップラッピングツールも装備されています。このアセットは、ラッピングパターンの形成を防止するために特別に設計されており、ウェーハの細かい均質な仕上げを保証します。True-Topラッピングモデルは、可変力制御も可能で、正確で安定した研削、ラッピング、研磨が可能です。さらに、F-REX300Sは手動洗浄と自動洗浄の両方の機能を備えており、最高レベルの清潔さを確保します。この装置には、大型の水槽とろ過システムが含まれており、最大の洗浄効率と最小限のウェーハ損傷を可能にします。タンクには温度制御ユニットが装備されており、汚染と腐食を低減するのに役立ちます。EBARA FREX-300Sでは、フォースモニタリング、電流モニタリング、ウェハマッピングなど、さまざまなプロセス監視および制御システムも提供しています。これらのシステムは、必要なすべてのパラメータが観察されることを保証し、最適な性能と再現性を確保します。さらに、FREX-300Sはさまざまなコンピュータ支援ソフトウェアシステムと互換性があり、マシンのパフォーマンスとデータ記録の自動評価が可能です。全体として、EBARA F REX 300 Sは、高品質の半導体デバイスとウェーハを製造するための優れたツールです。このアセットは、精密研削、ラッピング、研磨を保証するための幅広い機能を提供し、さまざまなプロセス監視および制御オプションを提供します。