中古 EBARA Frex 300S #9396291 を販売中

EBARA Frex 300S
ID: 9396291
ウェーハサイズ: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300Sウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、その分野で最先端の一つです。独自の設計により、マイクロプロセッサ制御のサーボモータ駆動ベースが組み込まれているため、工具の全範囲にわたって動的に安定した研磨が可能で、高精度で生産性に優れています。また、電子的に調整可能なテーブルを備えているため、粗くて微細な研磨と研磨の両方で材料の除去率を正確に制御できます。これにより、極薄材料でも優れた結果が得られます。ユニフォームウェーハ研削・ラッピング用の高精度スピンドルを搭載し、高速・低振動での動作を想定しています。このドライブ機械は連続的なstepless速度制御のための注文設計されていた回転式ステージモーターによって動力を与えられます。このツールには、生産性を高め、さらに正確なプロセス制御のための自動インデックス作成メカニズムも組み込まれています。さらに、このユニットにはスピンドルリコンディションオプションが内蔵されており、より高速なセットアップとリカバリを可能にすることで、研削とラッピングヘッドの寿命を延ばすことができます。EBARA FREX300Sアセットには、強力で効率的な粒子除去モデルも搭載されています。この機能は、研削、ラッピング、研磨作業中に発生する過剰な粒子を除去するように設計されており、製品の汚染や製品の含有につながる可能性があります。装置は機械から塵、粒子および他の材料を抽出するための特別な排気の吸引の整理を採用します。この配置はまた、マシンの動作を清潔に保ち、外部ソースからの汚染から解放するのに役立ちます。最後に、F-REX300Sシステムは耐久性と信頼性の高いワークホースであり、石英、シリコン、窒化物などの幅広い材料を扱うことができます。それは維持すること容易であるように設計され、頑丈な構造はそれが最も堅い仕事を取ることができることを保障します。FREX-300Sは、高度な設計、強力な性能、耐久性のある構造により、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスに最適です。
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