中古 EBARA Frex 300S #9382441 を販売中

ID: 9382441
CMP System, 12" Process: WCMP 2005 vintage.
EBARA Frex 300Sは、メンテナンスを最小限に抑え、高品質で再現性のある結果を提供するように設計された完全なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、単一のプラットフォームで高度な制御研削、ラッピング、研磨機能を提供し、プロセス全体を正確に制御できます。EBARA FREX300Sは、頑丈なフレームと耐久性のある構造、そして使いやすいオペレーティングコンソールと収納用のオンボードコンパートメントで設計されています。このユニットは、2つの研削モード、2つのラッピングモード、2つの研磨モードを提供しています。研削モードでは、F-REX300Sは、同時研削のために最大3つの研削ホイールを保持することができる高精度スピンドルを使用しています。研削プロセスは完全にコンピュータ制御されており、さまざまな材料を使用するように調整することができます。機械は粉砕機の力を検出し、最適な粉砕条件のために速度および圧力を自動的に調節できます。ラッピングモードでは、Frex 300Sは自動送り制御と可変周波数モータを使用して、各ウェハを安全に保持します。また、マニュアルフィードモードを備えており、各ウェハが一貫して正確にラップされていることを確認します。このプロセスは、ラップ中にウェハを自由に動かすことができるエアベアリングを使用することでさらに改善されます。FREX 300-Sの研磨モードは、高品質で滑らかな表面を生成するように設計されています。これは、真空チャックと複数の研磨ディスクを使用して達成されます。このツールは、ウェーハの圧力量を検出し、必要に応じて研磨プロセスの速度と圧力を自動的に調整することができます。研磨後、ウェーハは自動的にアンロードされ、検査のために準備されます。FREX 300 Sは、研削、ラッピング、研磨用の強力で効率的で信頼性の高い資産です。使いやすいコントロールと調整可能な設定により、あらゆるウェーハ処理アプリケーションに最適です。高度な機能と耐久性を備えたEBARA FREX-300Sは、メンテナンスを最小限に抑え、高品質で再現性のある結果を得るための優れた選択肢です。
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