中古 EBARA Frex 300S #9382430 を販売中

EBARA Frex 300Sは、高度な垂直スピンドル、ロータリーテーブルタイプのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大300mm径のウェーハの精密表面仕上げ、平坦性、丸みを効率的かつ正確に達成するように設計されています。工程開発と大量生産のために設計されたこのユニットには、テーブルを自動的に横断する2つの研磨/研磨、研磨スラリー配送機、セラミックボンドスラリーアプリケーションツール、染料除去アセットが装備されています。これらのコンポーネントはすべて、高品質で一貫した仕上がりを作り出すために一緒に動作するように設計されています。体系的なアプローチは、全体的なモデル設計に影響を与えます。ユーザーフレンドリーなPLC （Programmable Logic Controller）により、簡単なセットアップと測定が可能です。人間工学に基づいた構成には、研磨スラリーの制御電荷、ロータリーテーブルのクイックストローク調整可能な回転が含まれます。ロータリーテーブルは、クローズドループステッピングモータによって駆動され、精密で再現性のあるプロセス制御が可能です。ロータリーテーブルの設計により、基板形状の要件を満たすために柔軟な微調整が可能です。また、高度な安全機能によりディスクの破損からも保護されています。研磨スラリー配送装置は、各ウェハへの研磨スラリー配送を保証します。2つのセラミックボンドスラリーアプリケーションシステムを内蔵したEBARA FREX300Sは、圧力、温度、液体供給の精密な調整を可能にし、特定の処理要件を満たします。染料除去システムは、残留物を手動でunclogする必要なく、研磨剤をすばやく変更する機能を提供します。F-REX300Sは最高量生産の仕事の優秀な性能そして正確さを提供するために設計されています。単位は粒子の汚染のチャンスを減らし、均一な表面の終わりを保障するように設計されています。そのシンプルで信頼性の高い設計で、機械は一貫して優れたウエハ表面品質を提供することを目指しています。