中古 EBARA Frex 300S #9311817 を販売中

EBARA Frex 300Sは、正確で一貫した結果を保証しながら、ウェーハの高性能表面コンディショニングを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。ユニットは自動化され、ユーザーフレンドリーであり、調整と操作の容易さを可能にします。このシステムは、完全にプログラム可能で柔軟なスピンドルと、さまざまなウェーハ調整プロセスに対応するように設計された高速スピンドルとツーリングの範囲で構成されています。これには、用途に応じて研削、ラッピング、研磨操作が含まれます。スピンドルは三相ベクトルモータによって駆動され、幅広い研削、ラッピング、研磨プロセスにわたって高精度で比類のない性能を提供します。EBARA FREX300Sには、低速から中速まで対応するドレメル式研削ヘッドと、中速工程で最大45,000RPMSの周波数を持つ高速スピンドルを搭載しています。また、研削ヘッドと研削ホイールバランスを調整可能な重量と、ウェーハのコンディショニング時の表面温度を低減する冷却装置を備えています。最後に、このツールは、手動操作から半自動およびフルオートメーションまで、さまざまなモーションアビリティを提供します。自動研削オプションにより、機械の設定を迅速かつ正確に調整し、工具寿命とスループットを向上させます。また、作業環境F-REX300Sおける粉塵粒子を制御することで環境負荷を最小限に抑えるために、不活性チャンバーと真空アセットで設計されています。全体的に、FREX 300 Sは、さまざまなウェーハ調整プロセスで優れた結果を提供するように設計された非常に汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、カスタマイズ可能なアプリケーション、高度な動作機能により、装置はあらゆるサーフェスコンディショナーにとって強力なツールとなります。