中古 EBARA Frex 300S #9293812 を販売中

EBARA Frex 300S
ID: 9293812
ウェーハサイズ: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300Sは、ウェーハ上で同時に研削、ラッピング、研磨を行うことができる高精度の多機能機械です。この装置は、4 「to12」ウェーハの全自動処理を提供します。シンプルで効率的なシングルボディ設計により、柔軟な生産構成と最適な床面積の使用が可能です。このプラットフォームは、ウェーハを処理するための迅速かつ正確で一貫したソリューションを提供します。EBARA FREX300Sは、酸化アルミニウム研削砥石を搭載した高性能スピンドルモータを採用した研削システムを採用しており、微細な割れや下面ダメージを最小限に抑えながら仕上げ工程の精度と精度を実現しています。研削ヘッドは振動が可能で、ウェーハ表面に均一な仕上がりを提供し、ウェーハを真空チャックでしっかりと固定して確実な配置と加工を実現します。ラッピングプロセスは、高精度のサイドワインダーのラギングメカニズムとワークの高さに直接設定できるフローティングウェッジを使用して提供され、ラッピング中に高精度な位置決めを実現します。均質で反復可能な表面仕上げには、反転ラッププレートが使用されます。F-REX300Sは、調整可能な速度と圧力を備えた精密な研磨機を使用して、研磨プロセスの手動操作を提供し、高効率と再現性のある結果を可能にします。研磨機はさらに異なる方向に構成することができ、特定の研磨用途に最適です。F REX 300 Sは、高度なユーザー機能、完全に自動化されたスピンドルおよび真空制御、ならびに高精度リニアモータと高精度の測定システムを統合して、精度、再現性、短いサイクル時間を保証します。また、ユーザーフレンドリーなタッチコントロールパネル、複数のレシピユニット、長期統計レポートもあります。全体として、FREX-300 Sは高精度で一貫した結果を提供する効率的で費用対効果の高い研削、ラッピング、研磨機であり、幅広いウエハ加工作業に最適です。
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