中古 EBARA Frex 300S #9235714 を販売中

EBARA Frex 300Sは、超薄型（0。5mmまたは20mil未満）ウェーハと薄膜を加工するために特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。3軸制御の研削・研磨スピンドルを採用し、最大4つの研削ヘッドを一度に構成できるほか、二軸ラッピングヘッドを採用し、複数の用途に対応した汎用性の高いユニットとなっています。EBARA FREX300Sはまた、追加の研削ヘッド、ラッピングヘッド、専用の研磨ヘッドなど、さまざまなオプションを提供しています。F-REX300Sは堅く、堅い鋳造物の構造の設計を特色にします、それは高速で一貫した、精密な処理を可能にします。さらに、ウェハアライメント、ローディング、アンロードを処理する全自動ウェハハンドリングツールにより、最高の精度、効率、再現性を実現します。このアセットはまた、炭化ケイ素からダイヤモンド、および3〜100 μ mの研磨剤まで、幅広い研磨および研磨媒体を提供し、特定の要件を満たすための柔軟なオプションを提供します。高精度のサーボモータ制御とデジタルデータフィードバックを搭載し、最高速度で安定した正確な研削・研磨結果を実現します。また、研削と研磨プロセスを最適化するのに役立つ信頼性の高い冷却装置が装備されています。最後に、FREX-300Sはユーザーフレンドリーなインターフェイスとモジュラーレイアウトを備えているため、半導体、MEMS、光学業界のあらゆるウェーハ研磨および研磨アプリケーションに最適です。