中古 EBARA Frex 300S #9225525 を販売中

EBARA Frex 300Sは、最高の効率と優れた結果を提供するように設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、一連の研削、ラッピング、研磨プロセスを通じて、広範囲のシングルサイドウェーハおよびマルチサイドウェーハを処理できます。EBARA FREX300Sには検出技術が統合されており、ウェーハの特徴を自動的に検出、検出、測定し、適切な研削パラメータをユーザーに導きます。清潔さと安全性のために設計されたユニットは、ステンレス鋼とプラスチックハウジングに囲まれています。この設計は塵、空気中の粒子および他の汚染物からの保護を提供します。すべてのアクセスポイントには、粒子や粒子を視覚的に制御するためのエアフィルターとミラーが装備されています。機械が正しく機能するように、ハウジングは内部圧力トランスデューサーおよび大気圧力センサーを含んでいます。F-REX300Sは、静的コンポーネントと動的コンポーネントを組み合わせたモジュラーツールを使用しています。これにより、アセットは50mmから400mmまでのウエハサイズに対応できます。モデルの静的な部品は基盤およびフレーム、タンク、給水およびポンプおよび圧力制御装置を含んでいます。ダイナミックコンポーネントは、高速モータ、サーボモータ、センサおよび光学システム、監視および制御コンピュータ、およびユーザーインターフェイスで構成されています。この設計により、ユーザーはさまざまな研削、ラッピング、研磨オプションから選択できます。研削プロセスには、ウェーハ表面に適用される小さなロータリーダイヤモンドディスクが含まれており、表面の不規則性を除去し、それを連続したプロセスに備えています。研磨紙とダイヤモンドウェーハ研磨パッドを組み合わせて、ラッピングと研磨をウェーハ表面に適用することもできます。ユーザーはプロセスをカスタマイズし、統合された監視および制御システムとリアルタイムで監視することができます。このシステムを使用することで、ユーザーは最高品質の高精度な結果を得ることができますEBARA F REX 300 Sが提供します。