中古 EBARA Frex 300S #9137374 を販売中

EBARA Frex 300Sは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまな産業で活用されているMEMS、センサ、光学部品などの半導体デバイス研磨などの用途に適しています。EBARA FREX300Sは、優れた表面仕上げ、重要な寸法、およびより高い再現性をもたらす自動プロセスを通じて正確な制御を提供します。F-REX300Sは、4ピラー設計のリニアモータ駆動テーブルで作られたフレームで、ウェーハの正確な位置決めドライブを備えています。強力な45DFC-S研磨モーターを搭載し、ウェーハの積み下ろしとアンロードのパラメータを備えた制御研磨および研磨プロセスを備えています。それは数マイクロメートルのレベルで研削精度を持っており、2から8インチまで粉砕してラップすることができます。Frex 300Sは、回転研削、自由研削、ダイヤモンド研削、および低力研磨などの複数の研削および研磨モードが可能です。凹んだ面、多層、ダイヤモンドベースのラッピング、電気めっきされたロールラッピングなど、いくつかのカスタム研削および研磨アタッチメントが付属しています。インプロセスコントロールユニットにより、オペレータはウェーハ仕上げをリアルタイムで表示し、油圧力、rpm、研磨時間などのパラメータを監視できます。FREX-300 Sは、すべての操作、プロセス、および調整が直感的なグラフィカルタッチスクリーンインターフェイスを介して実行できるため、ユーザーフレンドリーです。データ収集・分析機を搭載しており、プロセスの制御や部品追跡・文書化の改善が可能です。Procios技術により、このツールはマルチタスク処理が可能で、同時に最大10個のウェーハを研磨、研磨、検査することができます。FREX300Sは、優れた結果品質とユーザーの利便性を提供する高度で効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。自動化されたプログラマブルな機能、高度な技術、直感的な制御モデルにより、この装置はさまざまな業界の優れたウエハコンポーネントを効果的かつ確実に製造することができます。