中古 EBARA Frex 300S #293625791 を販売中
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EBARA Frex 300Sは最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、マルチクリスタル、マルチレベル、カスタムパターンの半導体ウェーハを製造することができる完全に自動化されたCNC制御システムです。6軸モーションマシン、デジタルビデオ顕微鏡、クローズドループ位置と圧力サーボ、精密エンドエフェクターを備えた特別なロボットアームを備えています。EBARA FREX300Sは、高い丸度、表面平坦度、ウェーハ厚の精度を維持するように設計されています。このツールは、調整可能な圧力とフィード制御を備えた研磨媒体研削/研磨ヘッドを備えており、オペレータは加工プロセスパラメータを最大限に制御できます。ロボットアームは、研削工程中のウェハの正確な位置決めと取り扱いを可能にします。F-REX300Sはまた、高度な研磨精度を保証する高度なラッピングプロセスを提供しています。このプロセスは、ウェーハを初期形状にしてから、完成寸法に研削することを含みます。この工程は、研削/研磨ヘッドの円形の動きによって行われ、ベルト研削盤は高精度な仕上がりを提供します。EBARA FREX-300 Sは、優れた表面仕上げ品質とウェハの均一性を実現します。デジタルビデオ顕微鏡と分光計を搭載し、表面品質、粒子分析、形状プロファイルを監視します。このアセットは、さまざまな種類の研磨コンパウンドやダイヤモンドグレードのサスペンションスラリーとも互換性があります。全体として、EBARA FREX 300 Sは、半導体製造プロセスの欠陥率を最小限に抑えるために不可欠な高度な自動化、精度、およびウェハ品質管理を提供します。最先端の研削技術とラッピング技術を組み合わせたF REX 300 Sは、高品質の半導体ウェーハの開発と製造で実績のある業界リーダーです。
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