中古 EBARA Frex 300S #293591998 を販売中

EBARA Frex 300Sは、セラミックおよび水晶材料の精密加工用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。短時間で信頼性と再現性の高い結果を提供し、高度な部品の大量製造に最適な生産システムです。このユニットはモジュール構造を備えており、特定のアプリケーションの特定の要件を満たすように構成することができます。主なコンポーネントは、ウェーハキャリア、ターンテーブル、2ラッピングプレート、研磨パッド、サーボ制御ドライブマシンです。ウェーハキャリアは、研削およびラッピング工程中にウェーハを確実に保持および位置決めするように設計されています。耐熱保護シートを装備しており、高い熱膨張で材料を研削する際の余分な保護を実現しています。また、長期間の生産においても有効であることを保証する堅牢な設計を採用しています。ターンテーブルは、ウェーハを接地してラップする際に回転させます。これは、駆動ベルトに接続された強力なモーターで構成されており、ターンテーブルは0。7から2000 rpmまでの速度で回転することができます。ターンテーブルは、ウェーハのサイズに合わせて調整することができ、加工中に均一な動きを提供します。2つのラッピングプレートは、ウェーハを粉砕してラップするように設計されています。ラッピングプレートは様々な素材が用意されており、加工する素材に適しています。版は高い等級のアルミ合金からなされ、35MPaまで高圧に抗できます。研磨パッドは、ウェーハ素材を研磨して仕上げます。それは大きい負荷を受け入れ、光沢度の高い終わりを提供できる滑らかな、傷の抵抗力がある表面から成っています。最後に、サーボ制御駆動ツールは、加工プロセスを正確に制御し、加工パラメータが所望の精度レベル内にあることを保証します。このアセットにはサーボ制御の温度補償モデルも含まれており、材料の温度に応じて動作パラメータを自動的に調整します。要約すると、EBARA FREX300Sは多目的で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、短時間で正確かつ再現性のある結果を提供するように設計されています。モジュラー構造を採用しており、幅広い用途に適しており、長期信頼性の高い堅牢な機械アーキテクチャを備えています。