中古 EBARA Frex 300S #293587253 を販売中

EBARA Frex 300S
ID: 293587253
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CMP Systems, 12" Function control test 2006 vintage.
EBARA Frex 300Sは、半導体およびその他のマイクロデバイス部品の精密仕上げのために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、ヒ素ガリウム、セラミック、石英、光学レンズなど幅広い材料に適しています。EBARA FREX300Sは最高の表面の終わりの正確さのための二相粉砕プロセスを提供します。第1段階では、ウエハの天然研削ホイールを使用して、従来の研削ホイールまたはダイヤモンドホイールのいずれかで素早く材料を除去します。第2段階では、ラッピングホイールを使用して表面仕上げを改良し、精密な表面仕上げ寸法と寸法を正確に制御できます。F-REX300Sには3軸制御システムがあり、フラット・コーナー研削から研削溝・ノッチまで幅広い操作が可能です。内蔵の作業保持プラットフォームは、研削、ラッピング、研磨プロセス中に最適な安定性を保証します。また、研削およびラッピングプロセスのプログラミングと制御のための直感的でユーザーフレンドリーなHMIを提供し、簡単で正確なウェハハンドリング、ローディング、アンロードを可能にします。FREX 300-Sは、研削およびラッピング工具の堅牢なサポートを提供し、腐食に耐性のある高品位のステンレススチールベースで構築されています。本体にはダストフィルターと放出ダストフィルターが搭載されており、後者はダストを最小限に抑えます。F REX 300 Sは、適切な結果を達成するのに役立つアクセサリーの範囲が含まれています。様々なアダプター、ホルダー、ジグ、ストップリングにより、ウェーハは複数の方向と異なる角度で作業することができます。この機械には真空吸引工具も装備されており、表面粒子を吸引し、研削および研磨プロセスを容易にすることができます。要するに、FREX 300 Sは、マイクロデバイス部品の精密仕上げのために設計された、堅牢で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。直感的なコントロールと幅広いアクセサリにより、ユーザーは最大限のコントロールと精度でさまざまな操作を実行できます。そのステンレス鋼の基盤、塵フィルターおよび真空の吸引モデルはユーザーにきれい、有効で、安全な操作を提供します。
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