中古 EBARA Frex 300e #293742057 を販売中

EBARA Frex 300E Wafer Grinding、 Lapping&Polishing Equipmentは、ウェーハおよび関連部品の大量生産用に設計された高精度の専用システムです。このユニットは、1つの統合された自動化されたプロセス内で、精密研削、ラッピング、研磨作業の最高品質と歩留まりを可能にするために構築されています。Frex 300Eは、中央コントローラーユニットと研削、ラッピング、研磨機の2つの部分で構成されています。中央コントローラーユニットには、PLCマシンとユーザーフレンドリーなコントロールパネルが装備されており、すべてのパラメータのプロセス制御とリアルタイム監視を可能にします。また、機械とプロセスパラメータを効率的に計算し、最大限の有効性と一貫性を確保するための高度なアルゴリズムも含まれています。工具に内蔵されている研削、ラッピング、研磨機は、ダイヤモンドおよびアルミナ研磨材を使用して0。7nmの正確な仕上げを保証するために、最大300µmの研削作業を行うことができます。この機械は、300mmの動作範囲と最大8,000rpmの調節可能なスピンドル速度で構築されています。これにより、1時間のサイクルで最大600個のウェーハを処理する際に印象的なパフォーマンスを発揮します。また、すべてのマシンはリバースフロー機能で設計されており、ラッピングプレートがウェーハと反対方向に移動し、ラッピングプロセスの衝撃を最大限に抑えて均一な仕上げとコーティング損傷を低減します。EBARA Frex 300Eには、多くの重要な安全性とメンテナンス機能が搭載されています。緊急時のプロセスを瞬時に停止するための非常停止スイッチを内蔵しており、水リサイクル資産は水の消費と廃棄物の処理を大幅に削減します。インテグラルビデオ監視モデルは、プロセスの正確性を保証し、完了前にエラーの検出と修正を可能にします。すべての研削、ラッピング、研磨機は、高温シャットダウンとクーラント漏れ検出機能でも設計されています。全体として、フレックス300Eウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ウェーハおよび関連部品の大量生産に理想的なソリューションです。高度な自動化、洗練されたアルゴリズム、高精度の研削、ラッピングおよび研磨機能、および堅牢な安全およびメンテナンス機能により、生産効率と出力を向上させたい企業に最適です。