中古 EBARA Frex 300 #9252531 を販売中

EBARA Frex 300は、高度な半導体産業の厳しい要件に対応するために設計された、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高精度で信頼性の高いシステムで、最先端の研削ヘッド、強力なモーションユニット、高度な制御ソフトウェア、さまざまな洗練されたラッピングおよび研磨アクセサリが内蔵されており、さまざまな基板材料で一貫した反復可能な結果を保証します。EBARA FREX-300の研削ヘッドには、独自のメタルボンドダイヤモンド研削ホイールが装備されており、優れた表面品質、精度、スループットでシングルステップ研削加工が可能です。この車輪は異なったサイズおよびタイプのウェーハを収容でき、異なったウェーハの厚さを収容するためにギャップのサイズへの調節と働くことができます。研削ヘッドはまた、高精度な調整を可能にする垂直統合サーボと回転軸を提供し、動きを微調整するための5軸駆動機を備えています。F-REX300に統合された高度なソフトウェアにより、高度なサイクルプランニングとプロセス設定が可能になり、ツールに調整して保存することができます。これにより、さまざまな用途で幅広い研削および研磨レシピを使用することができ、オペレータは特定の用途に最適な選択肢を見つけることができます。このアセットにはPLCベースの制御モデルも搭載されており、研削および研磨プロセスが安定していることを保証します。さらに、F-REX 300には、ラッピングと研磨アクセサリーのスイートが装備されており、細かい研磨作業を行うことができます。これらの付属品は異なった穀物のサイズおよび終わりを達成するのに使用することができる磨く泡、フェルトおよびペーパーの範囲を含んでいます。さらに、この装置には、精密研削、ラッピング、研磨作業を容易にするためのダイヤモンドスラリー射出システムと複合ディスペンサーが含まれています。結論として、Frex 300は、高度な半導体材料と部品の精度、スループット、再現性を提供する強力で汎用性の高い研削、ラッピング、研磨ユニットです。その包括的な一連の研削、ラッピング、研磨アクセサリーは、業界で重要なエッジを与え、最適な表面仕上げで高精度な結果を生み出すことができます。