中古 EBARA Frex 300 #9224087 を販売中
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販売された
ID: 9224087
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300は、エレクトロニクス業界向けの薄型フラットウェーハの製造に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高度なCNC技術を使用して、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御します。プロセスの最初のステップは、ラップホイールで実行されるウェーハの研削です。ラップホイールは、高精度のステッピングモータによって駆動され、非常に精密な研削レベルを可能にします。2番目のステップは、ボールベアリングラッピングプレートで行われるウェーハのラッピングです。ラッピングプロセスの速度と圧力は、洗練されたサーボコントロールユニットによって制御され、最適な品質で所望の結果が達成されます。3番目と最後のステップは、ダイヤモンド研磨パッドで行われるウェーハの研磨です。ダイヤモンド研磨パッドはブラシレスDCモーターによって駆動され、半自動の研磨プロセスを可能にします。モーターはプロセス効率を改善し、良質の終わりを提供するように設計されています。この機械には、ウエハの形状と仕上がりを確認するために使用されるビジョンツールが装備されています。このビジョンアセットは、精密なCNCモーションコントロールモデルと統合されており、ウェーハを非常に正確に操作できます。CNC装置はまた、研削、ラッピング、および研磨プロセスの速度を調整して、所望の結果を確実に達成することができます。EBARA FREX-300は、オペレータの介入を最小限に抑え、安全かつ効率的に動作するように設計されています。このシステムには、電子的に連結されたドア、緊急停止ボタン、洗練された機械監視システムなど、いくつかの安全機能が装備されています。また、高精度ステッピングモータ、強力なブラシレスDCモータ、精密CNCモーションコントロールシステムなど、最適な性能を確保するためのさまざまな機能を備えています。F-REX300はユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスも備えており、オペレータは必要に応じて設定を簡単に調整および微調整することができます。
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