中古 EBARA Frex 300 #9163556 を販売中

EBARA Frex 300は、株式会社エバラが製造する自動ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。ウェーハサイズを小さくするために設計されたベンチトップマシンで、江原グループの高度な摩耗加工技術をお客様にご活用いただけます。EBARA FREX-300は、優れた表面仕上げと変形を最小限に抑え、耐熱性と扱いにくいウェーハでも研磨、ラップ、研磨が可能です。F-REX300は、高速かつ精密な操作のためのロボットアームを備えた卓上設計を特徴としています。アームはベースから傾くことができ、さまざまな材料やウェーハサイズに最適な研削角度を得ることができます。F-REX 300はまた大気圧を維持し、プロセスの間に汚染を防ぐ負荷ロック部屋を含んでいます。研削工程は、精密制御された研磨スラリーを使用して、ウェーハの表面を目的の表面仕上げに研削する密閉ステンレス製の容器内で行われます。スラリーフィードと研削パッドの回転速度の両方が調整可能で、汎用性の高い研削および研磨戦略を可能にします。さらに、研削ベッドのトップカバーは簡単に閉じられ、いくつかの真空継手で取り付けることができます。これは、表面仕上げの品質を最大化しながら、安全な環境を作成するのに役立ちます。ラッピングプロセスは、ラッピングサーフェスが正確に制御されるクローズドループシステム内で行われます。このユニットは、ラッピング処理後の表面仕上げに応じてウェーハをグレーディングする機能を備えています。ラッピングプロセスは、流体制御を使用することで、片面または両面のウェーハ研磨と複数のラッピングサイクルを実現できます。ポリッシュプロセスは、調節可能な流体供給と投与で行われます。フレックス300は、研磨工程中の汚染を防ぐために密閉されたポリッシュチャンバーを設計しました。また、真空の有無にかかわらず操作して、表面から不要な粒子を取り除くこともできます。EBARA F-REX 300は、優れた表面仕上げと変形を最小限に抑えるウエハ研削、ラッピング、研磨に最適な機械です。革新的な江原製作所の高度な摩耗プロセス技術をお客様にご活用いただくことができます。