中古 EBARA Frex 300 #9152437 を販売中

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EBARA Frex 300
販売された
ID: 9152437
ウェーハサイズ: 12"
Tungsten CMP systems 12".
EBARA Frex 300は、手動、半自動、および完全自動モードを容易にする「ウェーハ研削、ラッピング&研磨」装置です。ウェーハメーカーは、作業の最適化と合理化を可能にすると同時に、さらなる処理またはアセンブリのためにウェーハを準備するプロセスに関連するコストと時間を大幅に削減します。EBARA FREX-300は、直径6インチまでのウェーハの研削、ラッピング、研磨など、幅広い作業を行うように設計されています。このシステムは、個々のニーズに合わせてカスタマイズできる多数のモジュラーコンポーネントで構成されています。主な部品は、制御ユニット、研削ヘッド、および2つの研磨ヘッドです。コントロールユニットは、プロセスを構成および監視するための液晶ディスプレイを備えたタッチパネルインターフェイスです。また、研削および研磨ヘッドの速度と圧力を制御するためのさまざまなセンサ入力と出力も含まれています。本体の主成分である研削ヘッドは、ウェハ表面を研磨し、エッジを滑らかにするように設計されています。高速スピンドルを内蔵しており、スピードと圧力を調整して一貫した精密な研削を実現します。2つの研磨ヘッドを使用して、ワークを滑らかにし、仕上げ、明るくします。最初のヘッドは固定された磨く腕であり、2番目のヘッドはワークにより穏やかな、均一な圧力を適用する振動ポリッシャーです。両ヘッドにはスピンドルが装備されており、ワークにかかる圧力を増減させるために調整することができます。F-REX300独自のモジュール設計と幅広い調整と制御により、個々のメーカーのニーズに合わせ、さまざまな用途に使用することができます。また、回転ヘッドとの偶発的な接触を防ぐドアセンサーや緊急停止機能など、さまざまな安全機能を備えています。また、各種ウェーハホルダーを装備することで、サイズの異なるウェーハを1つのセットアップで加工することができます。Frex 300は効率的で費用対効果が高く、さらなる処理や組立のためにウェーハを準備する信頼性の高い方法です。
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