中古 EBARA Frex 300 #9120543 を販売中

EBARA Frex 300は、効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセス用に設計された特殊な製造装置です。このシステムは、高い加工歩留まりと再現可能な精度であらゆるサイズまたは種類のウェーハを処理することができるため、精密なウェーハ仕上げまたはポスト研磨アプリケーションに最適です。EBARA FREX-300には、ウエハ用のユニークな3軸ラッピングと研磨テーブルが含まれています。このテーブルは、切断制御の垂直、水平、深さを備えた直列X、 Y、およびZ軸での研削およびラッピング操作を可能にします。テーブルはステンレス鋼の十分に封じられ、組み立てられ、優秀な耐久性および性能を提供します。調整可能なエアローラーにより、加工中に効率的な材料除去と粒子除去が可能です。また、オプションの振動駆動により、面倒で労力のかかる手動ホイール研削作業が不要になります。さらに、F-REX300には、速度、方向、およびホイール位置制御を可能にするプログラム可能な多軸研削ホイールヘッドが含まれています。この車輪は最適の粉砕の結果および最高の生産性のために調節可能、リバーシブルです。頭部は滑らかな車輪の横断および改善された表面の終わりのための線形スライドに取付けられます。研磨モジュールには、プログラム可能な多軸フラットラッピングホイールヘッドも装備しています。この車輪は可変的な回転および線形速度、また切口および方向の可変的な深さを可能にします。車輪は最低の摩耗および延長生命のために水冷却されたステンレス鋼ハウジングで囲まれます。研磨モジュールには、可変ウェーハ研削および研磨角度用の調整可能なラッピングチャックも含まれています。最後に、単位はクリーニングプロセスの圧力、回転および持続期間を制御する作り付けのウェーハのクリーニングモジュールを含んでいます。このモジュールは、フレックスの研削および研磨モジュールと組み合わせることができ、作業効率が向上します。Frex 300の堅牢な機能により、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に最適です。その調節可能な多軸研削ホイールヘッドとリニアスライドは、優れた制御と精度を提供します。汎用性の高いクリーニングモジュールは、優れたウェーハの清潔性と表面処理を保証します。多彩な機能を備えたこのマシンは、半導体産業とオプトエレクトロニクス産業の両方でポストポリッシュ作業に適しています。