中古 EBARA Frex 300 #9008491 を販売中
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販売された
ID: 9008491
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
CMP system, 12"
FREX300, Ox, STI, BPSG, POLY:
MPTI Head, 12"
Ceramic Tables/Tool
Buff Tables/Tool
Atomizer
Scan Dresser/Tool
MPM
Main Table:
Four Line Slurry Supply
Slurry Flow Range -250 mL/min
Buff Table:
(2) Slurry Lines
Chemical Line in Polisher Type-Lifter, Pusher, Turn Over
1st Cleaner Mega-sonic 1 (Swing type)
Loadport / FOUP Asyst300FLS3 / Entegris
Carrier ID / Wafer ID TIRIS model MPT17 RF tag / SEMI T7 dot Matrix, SEMI M12/13 OCR, SEMI T1-95
C-2220-099-0001 Air Operation Valve
C-2220-032-0001 Air Operation Valve
Tube
Misc Parts
(2) RECM1
System hardware
Slip out sensor
(2) AI Head G2S
Base System
Options:
MC/TOOL
S-OPM
(2) Tables
NOVA 3030 Dry
2002 vintage.
EBARA Frex 300は、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置のプロフェッショナルです。これは、高度な研削、ラッピング、研磨機能を組み合わせて、最も困難なウェハ精密表面処理アプリケーションを処理するように設計されています。このシステムは、特許取得済みの多軸モジュラーユニットを使用して、ユーザーがウェーハ処理機をカスタマイズして特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。EBARA FREX-300ツールは、最大3軸同時運転、研削、ラッピング、研磨操作を備えた堅牢なスピンドルドライブで構成されており、最大200mmウェハに対応できます。それはより速く、より効率的な加工を可能にする据え付け品、用具およびアルゴリズムの高度配列を使用します。また、ウェーハ処理に関連する多くの分析タスクを実行するために使用できる包括的な測定パッケージを備えています。F-REX300には、強力なダイヤモンド研削ホイールやその他のツールのスイートがあり、ウェーハの効率的かつ正確な処理を提供します。このアセットは、独自のハイグレード冷却モデルを使用して、一貫した性能を確保し、研削、ラッピング、研磨作業中の過熱を防止します。さらに、表面品質の面で伝統的な研磨を実行しない特殊な研磨の範囲が利用可能です。さらに、高度なプロセス制御パッケージを備えており、研削、ラッピング、研磨作業を正確に制御および監視することができます。これにより、一貫した高品質のパフォーマンスと無駄を最小限に抑えることができます。さらに、オプションの高度なプロセスビジュアライゼーションユニットを使用して、加工プロセスを視覚化および分析できます。F-REX 300ウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、最も困難なウェーハ表面の処理に最適な強力で高度なツールです。ウェーハ処理の高速化、効率化、費用対効果の向上を目的として設計されており、精密なウェーハ処理作業に最適です。
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