中古 EBARA Frex 300 #293816722 を販売中

EBARA Frex 300は、最先端の、高度に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA FREX-300の洗練された3軸オートメーションシステムは、必要な数のウェーハに対して単一の大量のウェーハ内で正確かつ一貫した結果を保証します。F-REX300のグラインダーとラッパーは、3軸メカニカルリリースメカニズムを内蔵しているため、手作業やその他の手作業の必要がありません。EBARA F-REX300の研削盤は最大95,000rpm,最小サイズは40nm、高精度分解能は± 20nmで、プロセスおよびR&D要件に最適です。EBARA F-REX 300の研磨ユニットは、非常に微細なウエハを処理するように設計されており、品質管理で高品位な表面仕上げを生成することができます。研磨されたウェーハは、Ra 2。5nmの粗さといくつかのアングストロームの平坦性に達することができます。FREX-300の高精度で自動化されたミラー研磨機は、一貫した高性能な結果を保証します。このツールには標準的なフラットラッピングプロセスも含まれており、0。1nm （0。3nmローカル平坦度）以下の平坦性を備えた高速で再現性の高い高品質なラッピング結果を提供します。ハイエンドラッピングをサポートするオプションのプリターンアセットがあり、丸みの精度を向上させます。統合されたクリーニングモデルは、装置のすべてのコンポーネントが清潔であり、各プロセスの前に粒子から解放されることを保証します。F-REX 300には、ウェハ品質管理用のポストプロセス検査モジュールも装備されています。フレックス300は、クリーンルームのフレンドリーな操作の要件を満たすために、高度なほこりを含んだ、ほこりのないバージョンで設計されています。このシステムはSEMI規格にも準拠しており、大量生産に適しています。最後に、EBARA Frex 300は、高級ウエハの自動精密研削、ラッピング、研磨に最適なユニットです。高精度の結果、再現性のある性能、および欠陥率の低さを提供します。