中古 EBARA Frex 300 #293809031 を販売中

EBARA Frex 300
ID: 293809031
CMP Systems.
EBARA Frex 300は最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハ上に精密表面を作成し、維持するための半導体業界で広く使用されています。非常に高いスループットを持ち、現在利用可能な最も効率的なシステムの1つです。EBARA FREX-300は、強力なサーボモータによって駆動される研削盤とラッピングディスクで構成されています。これらのモータは、高出力、微調整トルク制御、優れた安定性と再現性を提供することができます。研削ディスクは、表面精度の望ましいレベルを達成するためにウェーハから材料を除去するように設計されています。ラッピングディスクは、ウェーハ表面を仕上げ、所望の研磨を達成するために使用されます。F-REX300は、6、8、12インチウェーハを処理するためのさまざまな構成とツールを備えた柔軟性のために設計されています。これは、片面、両面、フラットラップ、プロファイリング操作など、さまざまなラッピングおよび研磨操作に設定できます。チップの破損やストレスを軽減するためのオプションのローラーシステムもあります。Frex 300はモジュラーユニットを備えており、個々のコンポーネントを必要なときに取り外して交換することができます。スプレーミストファンや集塵機など、清潔な作業環境を維持するための安全手順が組み込まれています。EBARA F-REX300は、直感的なコントロールパネルとメニュー駆動のソフトウェアで、操作とメンテナンスが簡単です。緊急停止ボタンや緊急リセットボタンなど、さまざまなアラーム設定が含まれています。このマシンには、センサーとフィードバックシステムの全範囲が含まれており、オペレータはプロセスを監視および制御することができます。このツールは、ウェーハ上の高品質で精密な表面を作成するのに最適です。その先進的なデザイン、強力なモーター、直感的なソフトウェアにより、最も効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つです。
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