中古 EBARA Frex 300 #293768436 を販売中
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EBARA Frex 300は、さまざまな半導体、医療、その他の用途で使用される精密で高品質の基板を作成するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA FREX-300は、1つのプロセスでウェーハの両側から材料を同時に除去し、高精度な基板の生産を自動化するターンキークローズドループ方式です。このユニットは、多軸モーションプラットフォームと、研削、ラッピング、研磨プロセスを監視および制御するための幅広いセンサーを備えています。F-REX300は、表面粗さをA3nm RMS内で実現できる高精度な基板を製造することができます。さらに、大型で複雑なウエハを取り扱う場合でも、各基板の完璧なアライメントと再現性を確保するように設計されています。このツールは、サーボ制御のモーションプラットフォームに接続されたデスクトップPCを使用して、研削、ラッピング、研磨操作を実行します。研削はダイヤモンド研磨剤で行われ、ラッピングステップは柔らかい布を使用しています。研磨ステップは、表面をさらに滑らかにし、表面仕上げを向上させる化学機械研磨（CMP）によって支援されます。この資産は、3つの独自のソフトウェアパッケージを利用して、正確で繰り返し可能な結果を保証します。1つ目は、各基板の生産を最適化するスケジューリングアルゴリズムです。2つ目は、生産データを追跡し、品質管理を確保するために使用される「スーパーバイザ」ソフトウェアです。3つ目は、基板の光学特性を評価する画像処理解析ソフトウェアです。EBARA F-REX 300は操作が簡単で、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスと一連のデジタルビジュアルワークフローダイアグラムにより、モデルを簡単にマスタリングできます。さらに、この装置はすでに複数の製造およびプロセス制御システムに統合されており、既存の生産およびプロセス制御システムを合理化しようとする人々にとって理想的な選択肢となっています。
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