中古 EBARA Frex 300 #293641964 を販売中

EBARA Frex 300
ID: 293641964
Tungsten CMP system.
EBARA Frex 300ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、さまざまなウェーハ材料を研磨および研削するための自動化されたシステムです。最高速度60,000 RPMのA6k-XP高速スピンドルを搭載し、研削と研磨の2軸を装備しています。ウェハグラインダーは、精密研削のためのサブミクロン精度が可能であり、効率と部品品質を向上させるための機能が搭載されています。これには、真空ユニット、空冷スピンドル、ベルト研削、オプションのトラック自動ローディングおよびアンロード機能、リアルタイム部品情報、水温制御およびタイマーが含まれます。EBARA FREX-300は200mmおよび300mmの直径のウェーハ、多材料のウェーハのタイプおよび堅く、粘着性がある基質を効果的に処理するように設計されています。ウェーハ径よりも大きなサンプルサイズに対応するために、調整可能なカーペットと研磨パッドが装備されています。高速スピンドルは高速かつ高精度な研削プロセスを保証し、ベルトマシンは高速で効率的な材料搬送を保証します。さらに、オプションのオートロード/アンロード機能により、手動で介入することなく、複数のウエハの素早いコンポーネントのロードとアンロードが可能になり、生産性が向上し、人件費が削減されます。このツールには、コンポーネントのエッジ位置を検出し、研削および研磨プロセスを最適化するための高精度CCDセンサーが含まれています。可変スピンドルは、異なるウェーハ材料や厚さに対応するために速度を調整できるため、部品の損傷を軽減できます。コントロールユニットには、資産の管理と監視を容易にするためのグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。内蔵の温度制御モデルは、熱摩耗を低減し、ウェーハを過熱から保護します。F-REX300ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、幅広い材料および基板サイズを正確かつ効率的に処理することができるよく設計されたシステムです。精密なCCDエッジ検出センサと可変スピンドルにより、高精度な結果を達成し、部品の損傷を軽減できます。オプションのオートロード/アンロード機能とグラフィカルユーザーインターフェイスにより、本番オートメーションおよびラボアプリケーションに最適です。
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