中古 EBARA Frex 200 #9293811 を販売中

EBARA Frex 200は、完全に統合されたウェーハ研削、ラッピング&研磨システムです。この機械はウェーハの表面の精密で、反復可能な動きを可能にするコンピュータ化された数値コントローラー（CNC）を特色にします。CNCは、クローズドループ制御を使用して、除去速度、ブレイクアウト、およびパーティクルフリーゾーン制御などの表面仕上げパラメータを調整および監視します。プロセスの最初のステップは、ウェーハ表面を研削することです。これには、適切な研削石の選択とCNC誘導ロボットアームの使用が含まれます。これにより、幅広い研削石サイズで高精度を実現します。EBARA FREX200の研削石サイズは2インチから10インチの範囲で、標準ウェーハと非標準ウェーハの両方を研削することができます。次に、ウェーハがラッピングプロセスに入ります。これは、精密かつ再現性のあるCNC誘導ロボットアームが、周回速度の範囲を設定しながらウェーハに潤滑剤を適用する場合です。FREX-200のラッピング速度は400rpmから14,000rpmの範囲で、特定のプロセス要件を満たすように調整可能です。次に、ラッピングヘッドを取り付け、プラテンを高速で回転させ、ウェーハの均一な摩耗と研磨を可能にします。最後に、ウェーハを研磨ステーションに移します。このステーションには、調整可能な圧力ポリッシングパッドを収容する複数のポートがあり、オペレータは幅広いウエハ表面領域と種類を磨くことができます。この研磨工程は、微動式圧力システムと組み合わされ、ウェーハの均一な品質を保証します。F-REX200はまた、エッジクラッキングを低減するのに役立つ特別に設計されたバッフィングパッドを備えた手動ウェーハバッフィングホイールを備えています。Frex 200は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨を1つの自動システムに効果的に組み合わせ、精度、再現性、高い生産スループットを提供します。CNCを利用することで、さまざまなウエハアプリケーションFREX200おいて非常に一貫した結果を生み出すことができます。ウエハを正確に研磨・研磨することで、精密かつ正確な表面仕上げを実現します。EBARA F-REX200は、最高品質のウェーハ仕上げを必要とするあらゆる操作に最適です。