中古 EBARA Frex 200 #293819847 を販売中
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ID: 293819847
ウェーハサイズ: 8"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 8"
(2) Chambers
HF Supply.
EBARA Frex 200は、優れたウェーハ加工率を目指して設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA FREX200は、インタラクティブ制御と最新技術のユニークな組み合わせを利用して、スピード、精度、柔軟性の完璧な組み合わせを提供します。FREX-200は、直径200mm、厚さ50mmまでのウェーハを研削、ラッピングすることができ、ウェーハ製作ニーズに最適です。このマシンは、最大トルク制御を提供し、重い基板や材料に直面しても、両方の方向に200mm/minまでの送り速度を容易に処理できる可変速度DCモータを使用しています。高トルクモータに加えて、Frex 200には高度な3軸CNC制御が搭載されており、最適な表面整合性を実現する高精度を実現しています。内蔵の研削とラッピングモジュールは、研削と表面層をラップするための効率的で効果的な方法を提供し、研磨の準備のために上部と底面を平滑化するための方法を提供します。このモジュールは、最新のダイヤモンド研削ホイール、ワイヤーラッピングプレート、および最大10ヘッドと8研削速度の研磨パッドを使用して、均一で滑らかな表面を提供します。さらに、圧力フィードバックセンサーが研削およびラッピングモジュールに統合され、プロセス中に圧力が一貫して適用されることを保証します。FREX200の統合された磨くシステムは200mmまでの磨くことおよび光沢を付けるウェーハに3軸のアプローチを利用します。このモジュールには、さまざまな研磨パッドとスクラッチ除去ツールが付属しており、残留汚染物質を除去し、表面仕上げの最高精度を確保するのに理想的です。EBARA FREX-200に搭載された自動監視ユニットは、マシンの全体的な機能と性能の明確で詳細な概要を提供します。このマシンはすべてのパラメータを監視し、結果を読みやすいチャートで視覚化します。これは、ユニットに表示され、Webインターフェイスを介してリモートで表示されます。この機能は、現在の研削および研磨作業に関するリアルタイムのフィードバックをユーザーに提供し、迅速かつ十分な情報に基づいた意思決定を可能にします。要約すると、EBARA F-REX200は高度なDCモーター、CNC制御、内蔵の研削およびラッピングモジュールを備えた最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。このプレミアムマシンは、ユーザーに高い精度と印象的な切断速度を提供し、表面完璧なウェーハの製造におけるより迅速かつ正確な結果を可能にします。
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