中古 EBARA Frex 150 #293660146 を販売中

EBARA Frex 150ウェハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体およびMEMSデバイス技術の最も要求の厳しい要件を満たすための高性能、多機能ソリューションです。最も硬いシリコンウェーハの研削、ラッピング、研磨用に特別に設計されたFrex 150は、400〜2,000 RPMの幅広い設定と2。2×106 N/m2の最大研削圧力で優れた品質の仕上げを提供します。EBARA Frex 150には、油圧式の研削ヘッド、直径150mmのショットキーウェハチャック、大型真空チャックが内蔵されています。このシステムは、上面研削、ラッピング、研磨プレート、および研削圧力とサポートを分配するための下部ベースプレートで構築されています。特別なセンサゲージコントロールにより、ラッピングプレートにウェハを配置する際にプリセットパラメータを使用して、精密で詳細な研削、ラッピング、研磨を行うことができます。このユニットには、粉砕および研磨領域から空中材料を除去して汚染を低減し、研磨/研磨性能を最適化するために使用できる大型の空気パージ機も装備されています。さらに、自動化された再循環ツールとトリプルフィルトレーションアセットにより、研削および研磨に使用される液体を簡単かつクリーンにフィルタリングできます。Frex 150には、研削および研磨プロセスで使用される材料の温度を制御および監視するための温度制御パネルが付属しています。また、EBARA Frex 150には、ユーザーが研削および研磨パラメータをプリセットして保存できる特別な「プロファイル追跡」ソフトウェアが含まれています。この機能により、反復可能な表面仕上げプロファイルと一貫した材料除去率を実現できます。また、幅広い表面粗さ検出を可能にし、ユーザーは研削および研磨プロセス中にどのような変更を行う必要があるかを確認することができます。最後に、Frex 150は、堅牢な構造設計と、低ノイズレベル、低粒子放出、優れた仕上げ歩留まりを保証する慎重に設計されたコンポーネントにより、高生産性のアプリケーションに最適です。