中古 EBARA EPO S-010 #159147 を販売中

EBARA EPO S-010は、化合物半導体や石英材料の高精度表面加工を可能にする先進的なウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、ウェハ研削、研磨、ラッピング、研磨プロセスのサイクルを同時に可能にする中央回転ヘッド設計を備えています。それはステンレス鋼および強い合金から成り、単位が非常に耐久および有効であることを保障します。EPOのS-010機械の回転式ヘッド設計は非常に均一な表面の終わり、また速く、正確な処理を提供します。このツールは、効率的にウェーハのエッジと表面を磨くように設計されたダイヤモンド研削工具を使用しており、高精度、表面仕上げ、さらにはチップ密度をもたらします。このアセットには、均一な厚さを作り出すために設定できる回転研磨布も備えており、一貫した表面仕上げと表面の損傷を防ぐことができます。EBARA EPO S-010には、研削工具のプロセスパラメータとパラメータを最適化するだけでなく、モデルのセットアップと操作を簡素化するために設計された組み込みデジタルコントローラがあります。これにより、簡単な操作と高速処理サイクルを可能にします。デジタルコントローラには、ユーザーが研削および研磨パラメータを保存してリコールできるさまざまな設定があり、プロセスパラメータの再現性と正確性が保証されています。EPO S-010の高度な機能に加えて、装置は最小限の時間入力で最高の表面仕上げ値を達成することができ、ハードとソフトの両方の材料のための優れた結果を提供します。このシステムは、革新的なダイヤモンドディスクテクノロジー（DDT）機構を備えており、ダイヤモンド研削工具が最高の精度と均一性で使用されることを保証します。DDT機構は、研削速度を向上させ、積み下ろし工程やメンテナンス時間を短縮するために開発されました。また、ウェーハの高いプロセス歩留まりと高いプロセス再現性を提供し、ユーザーは完成品の品質をしっかりと制御することができます。EBARA EPO S-010の堅牢な設計により、信頼性の高い性能、低所有コスト、使いやすさを実現し、化合物半導体や石英材料の高精度表面加工に最適なシステムの1つです。