中古 EBARA EPO-223 #9394796 を販売中

EBARA EPO-223
ID: 9394796
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
CMP systems, 8" 1997 vintage.
EBARA EPO-223は、半導体材料などで作られたウェーハの成形・仕上げにおいて、優れた精度を発揮するように設計された最先端のウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、高い精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適です。EPO-223は2軸の研削、ラッピング、研磨ユニットで、2軸の各軸を独立して傾け、回転させることができます。この機能により、さまざまな形状や角度でウェーハを正確に仕上げることができます。また、ツールをさまざまなアプリケーションに素早く簡単にセットアップすることもできます。EBARA EPO-223は、さまざまな素材に適した2段の研削ホイールを備えており、幅広いウエハ仕上げ作業に使用できます。ラッピングと研磨ステージはそれぞれ別のモーターで駆動され、EPO-223はプロセスの各ステップを高度に制御することができます。EBARA EPO-223は、緊急停止スイッチと最先端のデジタルコントロールパネルを備えた統合安全モデルを備えたフル機能の資産で、オペレータは研削、ラッピング、研磨プロセスを究極的に制御します。また、EPO-223には各軸用の専用コントロールパネルがあり、ユニークなウエハ形状とサイズのさまざまな研削ルーチンを実行するように設定およびプログラムすることができます。EBARA EPO-223のデジタルコントロールパネルには、あらかじめプログラムされた設定と調整が配列されており、ユーザーが迅速に立ち上がり、長期的に再現可能な結果を保証するのに役立ちます。EPO-223には診断機能が含まれており、リモートとローカルの両方の診断機能が含まれているため、ユーザーは潜在的な問題をすばやく検出してトラブルシューティングすることができます。ユニットは、様々な構成で利用可能であり、顧客のニーズのいずれかを満たすための柔軟性を提供します。EBARA EPO-223は、半導体などのウェーハを成形・仕上げする際に優れた精度を発揮するように設計された低温冷却研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、信頼性の高い堅牢な設計、統合された安全システム、およびデジタル制御パネルを備え、さまざまなアプリケーションに最適です。
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