中古 EBARA EPO-223 #293636272 を販売中

EBARA EPO-223は、プロフェッショナルグレードの自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。システムの設計は完全に自動化されており、ユーザーはウェーハ製造プロセス全体を迅速かつ簡単に実行できます。このユニットは、精密制御された高速スピンドルを使用して、直径300mmまでのウェーハを研削、ラップ、研磨します。ロボットウェーハローダーとカセットポジショナーを備え、サイクルタイムを短縮します。ラッププレートのサイズと回転速度は、直感的なタッチスクリーンインターフェイスの助けを借りて調整し、さまざまな用途や材料の精度を高めることができます。さらに、このツールには、緊急停止スイッチ、ライトカーテン、オペレータの安全を確保するインターロックなどの高度な安全機能が装備されています。アセットの設計には、環境を最適なクリーンルーム仕様に保つための専用の防塵機能も組み込まれています。研削加工には、ウエハのプロファイルを独自にプログラムした3軸スピンドルを装着します。主軸は高トルクモータで駆動され、最大22,000rpmの速度を実現します。研削ヘッドは、さまざまなウエハサイズ、材料、プロセス要件に対応するために調整可能です。また、加速度計によるスピード制御装置を搭載し、研削工程の精度をさらに高めています。EPO-223の設計により、ユーザーはウェーハを効果的かつ迅速にラップすることができます。このシステムは、ラップテーブルとキャリッジの回転を高精度で制御するために、超精密空気ベアリングを使用しています。ラップテーブルは空気圧で給電されるように設計されており、ラップ中にウェーハを安全に保つために真空カップポンプで設計されています。さらに、ラッププレートは、異なる材料に最適な結果を保証するために調整することができます。研磨プロセスは、ユニットの自動研磨ヘッドを介して処理されます。ポリッシングヘッドは、ウエハサイズが3〜300mmの調整可能なポリッシングパッドを備えています。また、6軸ロボットアームと均一性制御のための研磨機を内蔵し、一貫性のある研磨仕上げを実現しています。ロボットアームにはデジタル制御されたエンドエフェクターも装備されており、プロセスの自動化とサイクルタイムの短縮に役立ちます。EBARA EPO-223は、優れた性能と信頼性を提供するために、プレミアムグレードの材料とコンポーネントで構築されています。このツールはCE、 UL、 ESD認証に準拠しており、安全に使用できることを保証します。さらに、EPO-223は包括的な保証によって支えられ、長期的な安心を保証します。