中古 EBARA EPO-223 #118609 を販売中
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販売された
ID: 118609
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Tungsten CMP system, 8"
Process type: W-CMP
Pad conditioner: dresser type
Pad conditioner head: brush type
Pad conditioner holder: universal
Load / unload unit type: cassette
Robot: Rorze, dual arm
In-situ removal rate monitor: yes
SEC GEM interface
Platen & Head Options:
Polishing head: normal head
Retaining ring: normal type
Platen temperature control: yes
Slurry Delivery Options:
Slurry delivery: 3-line
Slurry flow rate: STD; 50 ml/min to 500 ml/min
Slurry flow monitor: Polisher-2, 1-line display
Slurry facilities: slurry supply unit, 2 system
System S/W Status:
Panel Com S/W: 2.3.5
O/S Com S/W: 4.01.00
System Safety Equipment:
Red turn to release EMO button: STO
EMO guard ring: yes
System labels: Japanese
Earthquake brackets: yes
LO to disconnect on polisher: yes
Polisher tower mounting type: 3-color pole
Cleaner options: integrated; roll brush + roll brush + pencil & SRD
200V, 3 phase, 60Hz, 100A
1997 vintage.
EBARA EPO-223は、優れた平坦性と表面仕上げを提供するように設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最先端の技術を駆使して、小さなチップから、直径300mmまでの大型ウェーハまで、あらゆる加工が可能なEPO-223です。EBARA EPO-223は、高速、3軸研削スピンドル、ノズル、ウェーハホルダーを搭載し、ウェーハの正確な取り扱いと加工を実現しています。パワフルなモーターにより、高速な研削速度と高精度を実現し、ウェーハ研削・ラッピングにおいて高効率・均一性を実現します。EPO-223はまた正確な、反復可能なラッピングおよび磨く操作を提供する精密表面器を提供します。研削剤プリセットシステム、高精度の動的表面計測、モータ放射線制御など、最新の進歩と技術を備えています。また、4ブレードのダイナミックプロファイリングユニットを搭載し、超微細な研磨作業を実現しています。EBARA EPO-223の最も印象的な特徴の1つは、タイトなギャップ制御、優れた深度、卓越した平坦性の性能を保証する高速溝加工機です。ドレッシングとプロファイリング機能を内蔵した溝付けツールは、使用するたびに信頼性の高い反復可能なパフォーマンスを提供します。また、ウェーハハンドリングロボットも備えており、ウェーハの自動積み下ろしが可能です。さらに、EPO-223はハイエンドのモーションコントローラで設計されており、幅広いプログラムやマクロが生産性と精度を向上させることができます。全体的に、EBARA EPO-223は、優れた性能、平坦性、表面仕上げを提供する最先端の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。高度な機能と技術により、EPO-223は優れたプロセス能力とスループットを提供し、あらゆるウェーハ処理アプリケーションにとって非常に貴重なツールとなります。
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