中古 EBARA EPO-223 #118608 を販売中

EBARA EPO-223は、ウェーハ加工において優れた品質と精度を提供するために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EPO-223は、ウェーハのラッピング、研磨、研削中に高精度を必要とするアプリケーションに最適です。EBARA EPO-223システムは、卓上3軸モーションプラットフォーム、自動研磨ヘッド、スピンドルドライブと統合された研削プラットフォームで構成されています。研削プラットフォームは、回転研磨テーブル、回転運動機構、回転運動駆動で構成されています。研削プラットフォームは静止していますが、卓上運動プラットフォームは150 rpmの最高速度を生成することができる研磨ヘッドとスピンドルドライブによって駆動されます。回転研磨テーブルは、サイズ、平坦度、並列性が一貫した平面面を提供します。研磨テーブル上のV字基盤は、加工中のウェーハや基板に安全で安定した基盤を提供するように設計されています。回転運動は、最小限の振動で効率的で再現性のある動作を提供します。最大移動距離350mmの3軸モーションプラットフォームは、研磨ヘッドとスピンドルドライブを駆動します。これは、正確かつ再現性のある動作を提供するように設計されており、正確で制御されたウェーハ研削、ラッピング、研磨を可能にします。研磨ヘッドとスピンドルドライブの調整可能な速度は、高品質の結果を達成するために、0から150 rpmまで正確に設定することができます。自動研磨ヘッドは、ウェーハの均一で滑らかな仕上がりを提供するように設計されています。調整可能な抵抗フィードバックモニターを搭載し、所望の結果を維持するために必要に応じて研磨速度と圧力を測定および調整する方法を提供します。さらに、EPO-223には、オペレータの安全を確保するためのさまざまな安全機能が含まれています。それは動きのプラットホームをよく潤滑される保つ機械緊急停止ボタン、圧力調整器および潤滑油ポンプが装備されています。最後に、EBARA EPO-223は強力で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、ウェーハ加工作業において優れた品質と精度を生み出すよう設計されています。このマシンは、研削プラットフォームの精度、3軸モーションプラットフォームの精度、自動研磨ヘッドとスピンドルドライブの精度、およびオペレータの安全性を高めるための安全機能を兼ね備えています。