中古 EBARA EPO-222T #9412401 を販売中

EBARA EPO-222T
ID: 9412401
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
EBARA EPO-222Tは、最適な生産効率と優れた製品品質のために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この費用対効果の高いシステムは、最先端の波形生成制御、最先端の研削技術、および精密加工用の二軸スピンドル制御を備えています。半導体・マイクロエレクトロニクス用途向けに、高速処理能力と自動研削・研磨機能を備えています。EBARA EPO222Tのコンポーネントには、全幅、3フィートの長尺加工チャンバーを備えた完全に密閉された、事前に設計されたプロセスチャンバーと、安全で効率的な操作のためのトップローディング、ロボット作業エリアが含まれています。また、高トルク同期モータとサーボモータを組み合わせた3軸モーションコントロールツールを搭載し、高精度、再現性、高速動作を実現しています。高度な研削スピンドル設計により、送り速度と速度を正確に制御でき、スムーズで一貫した表面仕上げ性能を保証します。使いやすいタッチスクリーンインターフェイスと直感的なグラフィカルプログラミングソフトウェアにより、オペレータは素早くプロセスパラメータを設定し、ボタンを押して加工パラメータを調整できます。高度なツールアライメントアセットにより、オペレータの介入を最小限に抑えて優れた結果を保証します。EPO 222Tは、安全マット、ライトカーテン、オペレータインターロック、クリーンで安全な操作のための一定のダウン外観機能を備えた自動安全モデルも備えています。この装置は、自動化されたデータ収集システムと完全に統合されているため、オペレータはプロセスデータを保存して監視し、さらなる分析を行うことができます。このユニットはまた、最適な性能を得るために迅速かつ安全にクランプ、ロック、アライメントを行うことができる自己調整リトラクションマシンを備えています。最後に、このツールは、安全性を高めるためのHEPAのろ過とリモートモニタリングを備えた高度な集塵アセットを備えています。EBARA EPOの高度な機能、堅牢な構造、直感的なユーザーインターフェース222T、多種多様な半導体およびマイクロエレクトロニクス用途での研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。この費用対効果の高い信頼性の高いモデルは、オペレータの介入を最小限に抑えて優れた結果をもたらします。正確で、反復可能で、良質の結果を保障します。
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