中古 EBARA EPO-222T #9357639 を販売中

EBARA EPO-222Tは、高度な基板の製造と修復のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ロータリースピンドルシステムを採用し、研削、ラッピング、研磨精度と効率を最大限に高め、±5µm精度と0.01µm分解能を備えています。このユニットは、ステップハイトが0。5 mmまでの直径8インチまでのウェーハを処理することができます。EBARA EPO222Tは、0〜1000rpmの安定した回転速度を維持する高品質のスピンドル設計を特徴としています。その6軸、CNC制御構成は、正確な研削、ラッピング、研磨プロセスのためのラッピングツールを簡単にインストールすることができます。このマシンはまた、迅速で簡単で正確なウェーハの位置決めを可能にするために、自由な動きの追加軸を備えています。このツールは、ダイレクトドライブモータ、微細なモータ速度制御用のAC周波数インバータ、Z軸アクチュエータ、スピンドルヘッド、インデックスチャック、研磨治具で構成されています。高度に適応可能なアセットは、ユーザーのプロセス要件に基づいて複数の研削および研磨条件が可能です。スピンドルヘッドは、フィードバック制御用のロータリーエンコーダで設計されており、一定の速度とトルク制御を可能にします。これにより、ウェーハが均一に研磨され、可能な限り最高の精度と表面品質に研磨されます。インデックス作成チャックには、光学エンコーダと精密加工されたカムプロファイルが装備されており、ウェーハの迅速かつ効率的なロードとアンロードが可能です。また、迅速かつ正確なラッピングツール、研磨ベルト、およびローラーの変更を可能にします。研磨治具は強磁性設計で設計されており、ウェハを回転可能なテーブルに固定することができます。これにより、最適な結果を得るために、研削および研磨プロセス中にウェーハを確実に所定の位置に保持することができます。シンプルながらユーザーフレンドリーなデザインに加え、精度と再現性に優れた設計となっています。また、運転中の安全性を確保するための緊急停止スイッチや磁気ブレーキ装置などの高度な安全機能も備えています。EPO 222Tは、高度な基板の製造および修復に最適な高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。堅牢なスピンドル設計と最大7軸の動作により、精度と効率を最大限に高めています。その安全機能は、製品の信頼性と性能を確保するための信頼性の高いツールです。このユニットの高品質は、高度な基板の製造と修理に理想的な選択肢です。