中古 EBARA EPO-222T #9238850 を販売中

EBARA EPO-222Tは、アプリケーションごとに優れた結果をもたらす高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコンウェーハの精密研削、ラッピング、研磨などの工程で使用するために設計されています。このシステムは、Si、 SiC、 GaNなどの幅広い基板に適用できます。EBARA EPO222Tは、異なる直径、厚さ、材料のウェーハを効率的に再現可能な仕上げで処理することができるマルチステッピング設計を備えています。ベースマウント4軸CNCコントローラ、研削/ラッピングヘッド、およびさまざまな周辺サブシステムを備えたメインハウジングフレームで構成されています。研削/ラッピングヘッドは、調整可能な速度とフィードを備えたヘビーデューティスピンドルで構成されており、アプリケーションに応じて研削/ラッピングプロセスを微調整することができます。低騒音環境を実現し、最大95dB （A）のノイズ対策が可能です。振動を低減するために、補助船外スピンドル駆動が採用されています。また、高輝度照明機を備えており、ユーザーはプロセスを正確かつ詳細に観察することができます。また、最大限の安全性を確保するために、セーフティガードのセットが提供されています。EPO 222Tには遠心研磨ホイールが装備されており、1つのパスでウェーハの研磨仕上げを実現します。そのフルオート研磨モードは、調整可能なスピン速度、調整可能な回転速度、調整可能な研磨圧力などの高度な機能を提供し、ユーザーが最高の最終的な研磨品質を達成するのに役立ちます。このツールは使いやすく、速く、効率的です。ユーザー固有のアプリケーションニーズに合わせて、手動で操作したり、さまざまなパラメータでプログラムしたりできます。最後に、資産全体を小さな封入されたダンピングカバーに収納し、オプションの真空集塵ユニットを使用して粉塵散乱を最小限に抑えます。