中古 EBARA EPO-222T #293662648 を販売中
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EBARA EPO-222Tは、半導体をはじめとする非金属基板に使用するために設計された先進的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは堅牢で信頼性の高い設計を備えており、一貫した高品質の結果を得ることができます。ウエハの薄型化、研磨、表面研削、エッジグラインディングなど様々な作業に使用できます。マシンは、メインの2軸の調整可能なテーブルと3軸ロボットアームで構成されています。2軸調整可能なテーブルを使用して、基板を配置してワークスペース内で移動させるだけでなく、研磨/研削操作を傾けて最適化することができます。ロボットアームは、直径200mmまでの基板を取り扱うことができ、ワークスペース内で基板を正確かつ再現可能に移動させることができます。また、EBARA EPO222Tにはクーラントツールが搭載されており、研削および研磨ホイールにクーラントを供給し、運転中に発生する熱をより良く管理します。さらに、アセットにはエアナイフを装備することで、最適な冷却とディスク寿命の向上を実現できます。EPO 222Tには2組の研削/研磨ツールが装備されており、それぞれアプリケーションに応じてさまざまなタイプの操作を実行するために使用することができます。最初のセットは可変的な速度操作のためのダイヤモンドの粉砕車輪、ダイヤモンドのラッピングディスクおよび磨くパッドを含んでいます。2つ目の工具は、研削ホイール、ラッピングディスク、研磨パッドで構成され、高品質の研磨作業が可能です。このツールは、石英、シリコン、GaAsなどのさまざまな基板を粉砕して研磨するように設計されています。このモデルには、信頼性の高い安全および保護装置も装備されています。このシステムには、ユニットの安全な動作を保証するように設計された移動安全ガード、インターロック、および緊急停止ボタンが含まれています。さらに、EBARA EPO 222Tは、CE、 RoHS、 WEEEなどの国際的な安全基準を満たすように設計されています。EPO222Tは非常に汎用性が高く信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールは堅牢で頑丈な設計で、さまざまな半導体および非金属基板で一貫した信頼性の高い動作を行うことができます。このアセットには、2組の研削/研磨工具、クーラントモデル、および安全装置が装備されており、最高の安全性と信頼性で最適な研削および研磨作業を可能にします。
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