中古 EBARA EPO-222A #9396292 を販売中

EBARA EPO-222Aは、精密ウェーハの製造において比類のない精度と歩留まりを提供するように設計された、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大限の使いやすさを目指して設計されており、可変速度制御とゴムバッキングディスクを備えた21インチの精密研削ヘッドを備えています。研削ヘッドは毎秒20ミクロンの研削速度を実現し、最も複雑なウェーハ加工プロセスにも最適です。このユニットにはマルチステップカートリッジラッピングプロセスも含まれており、最も複雑なウェーハでも完全なラッピングの一貫性と均一性を実現するように設計されています。EBARA EPO 222Aには、調整可能な速度と一定の圧力ラッピング機能を備えたダイヤモンドチップラッピングヘッドが含まれており、ウェーハ全体の均一なラッピングを保証します。摩擦リングは完全なラッピングの端を均等にそして正確に保障します。磨く頭部は調節可能な速度および傾きを含んでいます、異なったタイプのウェーハを収容するために、終わりの完全な均等性を保障します。EPO 222 Aは3300 rpmまで作り出すことができる2。2 kWの三相モーターによって動力を与えられます。機械には、工具全体の完全かつ均一な冷却を保証するために、精密機械加工された冷却ファンも含まれています。精密機械加工された洗浄ステーションは、作業エリア全体の効率的で均一な洗浄を保証します。この資産は、複数の緊急停止を伴う優れた安全性のために設計されています。また、人間工学に基づいた負荷アームとカウンターバランスを備えた精密加工フィーダを内蔵しており、プロセス全体にわたってスムーズで制御されたウェーハの取り扱いと輸送を可能にします。厚さ80 μ mまでの高精度ウェーハが可能で、半導体から医療機器まで幅広い用途に最適です。EPO-222A機器は、優れた機能と仕様を備えた堅牢なシステムを求めるあらゆる企業や研究施設に最適です。