中古 EBARA EPO-222A #9293809 を販売中

EBARA EPO-222Aウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体製造において精密かつ再現性を提供するように設計された高度で精密なラッピングおよび研磨システムです。このユニットは、最大4つの独立した研削、研磨、およびラッピングヘッドが同時に機能する高度な2ステーションの回転テーブルを使用して、最大のプロセス効率とスループットを実現します。これは、最大8枚のウェーハを含む堅牢で取り付けられたベースを備えています。EBARA EPO 222Aウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングマシンは、フィードレート、圧力、プロセス時間を含むすべてのマシンのパラメータを制御するための高度なプログラミングGUIを備えています。これにより、ユーザーは常にそれぞれの実行で目的の結果を得ることができます。さらに、このツールは、ユーザーが数分で実行を開始できるように、迅速なセットアップ時間を提供します。EPO 222 Aには高度なダイヤモンドスクイージがあり、プロセスウェーハ全体に精密で均一な圧力をかけ、傷や歪みを排除します。機械は直径200mmか8。0inまでウェーハを処理できます。その高度なACEホログラフィック干渉計アセットは、ラップされたウェハに欠陥がないことを保証します。EPO 222Aは、ウェーハ仕上げに液体ダイヤモンド、オイル、研磨剤の組み合わせを利用しています。これは機械が高い表面の終わりおよび優秀な端の準備を提供することを可能にします。また、研削、研磨、ラッピングの個々の送り速度を制御することができ、ユーザーはプロセスを完全に制御できます。EBARA EPO 222 Aは非常に幅広い安全機能を提供します。これには、安全な積み下ろしステーションが内蔵されているほか、粉砕やラッピングダストからの汚染を排除する真空装置が組み込まれています。さらに、システムのアクティブセーフティユニットは、マシン全体を継続的に監視します。つまり、危険または予期しない状況がすぐに検出され、処理されます。結論として、EPO-222Aウェーハ研削、ラッピング&研磨ツールは、ユーザーフレンドリーなプログラミングと高度な安全機能を組み込んだ信頼性の高い精密なマシンです。それは欠陥および汚染の最低の危険の均一な終わりそして端の準備を提供します。非常に最小限のセットアップ時間を必要とするという事実は、すべてのユーザーにとっても大きなメリットです。全体として、半導体製造のための高品質のウェーハを製造するのに理想的な機械です。