中古 EBARA EPO-222A #9279381 を販売中

EBARA EPO-222Aは、半導体ウェーハ、結晶石英、セラミックスなどの直径8インチまでの加工に適したウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、パラメータ設定とプロセス制御を可能にする使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このマシンは、低速または高速動作で正確な速度とトルク安定性を提供するように設計された独自のプログラム可能なACスピンドルドライブユニットを使用しています。紡錘は二重軸受けおよび空気軸受けが付いている頑丈なキャリッジによって粉砕およびラッピング版の信頼できる締め金で止めることを保障するために包まれます。スピンドルヘッドの正確なアライメントにより、スピンドル角度を高精度に調整または維持できます。EBARA EPO 222Aは、統合されたGUIで簡単に選択可能な幅広い研削、ラッピング、研磨操作を提供します。研削加工には、平面研削、半導体ラッピング、マイクロフィニッシュ研削などがあります。ラッピング操作には、CMPラッピングと両面ラッピングが含まれます。研磨作業には、スパッタリング、電解研磨、化学研磨などがあります。EPO 222 Aは、一貫した高精度の結果を保証するのに役立つ完全に統合されたワークホールディングソリューションを備えています。高度なウェーハチャックマシンは、各アプリケーションに最適な結果を提供するために簡単に校正することができる真空クランプと調整可能なブレードを備えています。さらに、チャックツールはフィードバック制御を使用して、ラッピングおよび研磨プロセス中の一貫性を維持します。さらに、安全性、信頼性、汎用性を最大限に確保するために、さまざまな安全機能を備えています。これらの安全機能には、完全に自動化された緊急停止アセット、ワークピースおよび安全ステータス用のトリプルステージインジケータライト、緊急停止スイッチが含まれます。さらに、オペレータが付属のGUIを介してすべてのパラメータと制御設定を行うことができるように、専用のリモート操作ポートがインストールされています。オンサイトメンテナンスのために、EPO-222Aにはスペアパーツ、フィルター素子、さまざまなツールからなる統合メンテナンスパックが装備されています。技術者はまた、ホットラインまたは電子メールを介して専門のテクニカルサポートサービスにアクセスできます。EBARA EPO 222 Aは、信頼性の高い高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルを表します。高精度な操作と信頼性の高い結果を提供するように設計されており、最大限の安全性、使いやすさ、柔軟性を備えています。