中古 EBARA EPO-222A #293809677 を販売中

EBARA EPO-222Aは、半導体および光学部品の超高精度、再現可能な研磨用に設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、複数のネストされたヘッド部分を提供し、各ステップの最高精度で開始から終了までの高いスループットを可能にします。EBARA EPO 222Aの本体は、片持ちアームに搭載された高出力サーボモータ駆動ヘッドで、最大3000RPMのスピードを発揮します。ヘッドはアタック角度が調整可能で、自動スピードコントロールも調整可能です。フロントラッピングヘッドとリアグラインドヘッドの2つのヘッドピースは、急速に変更され再調整されるように設計されています。ラッピングヘッドは、均一な研磨アクションを提供する2つの独立したモーターを備えています。粉砕の頭部は積極的な粉砕のプロフィールを提供します。ラッピングと研削の両方のヘッドは、標準としてダイヤモンド研磨研磨機を備えています、任意の付属品として利用可能な炭化タングステン研磨機と。EPO 222 Aは、耐久性のある構造と統合された真空ユニットを備えており、効率的で効果的な工具洗浄を可能にします。このマシンは、クローズドループ品質管理ツールを備えており、一貫した反復可能な性能と調整可能なエンドポイント制御を可能にします。また、EPO 222Aにはインテリジェントなプロセス制御モジュールが内蔵されており、ウェーハの進行に関する正確でリアルタイムなデータとオンボード診断アセットを提供し、迅速かつ正確なトラブルシューティングを可能にします。事前にプログラムされたレシピライブラリとグラフィカルユーザーインターフェイスは、オペレータに直感的な体験を提供します。このモデルは低メンテナンスで操作が簡単で、プラグアンドプレイ設計とセットアップと再構成のための最小限のダウンタイムを備えています。この機器は、接続とデータ交換のためのアナログとデジタルインターフェイスの両方を備えており、プロセス調整と完全な操作監視の完全なトレーサビリティを確保しながら、他のシステムとの最大限の統合を可能にします。EPO-222Aは、生産ウェーハ加工、薄膜デバイス製造、半導体包装および光学デバイス組立などの単体およびマルチマシンアプリケーションに最適です。SiC、 SiO、 GaAs、 SOIなど様々な材料に適しています。EBARA EPO 222 Aは、統合されたシステム設計、効率的な生産プロセス機能、および信頼性の高いパフォーマンスにより、信頼性の高い正確なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットの市場におけるお客様に理想的な選択肢です。