中古 EBARA EPO-2228D #293642832 を販売中

EBARA EPO-2228D
ID: 293642832
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
CMP System, 8" 2004 vintage.
EBARA EPO-2228Dは、高度なアプリケーションで最高レベルの平坦性、表面仕上げ、エッジ精度を実現するように設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EPO-2228Dは、最大直径8インチまでのウェーハ処理が可能で、さまざまなユーザー要件に対応するさまざまな機能とオプションを提供しています。このシステムには、正確なホイールアライメントと再現可能なホイールパターン用の2軸電動ウェーハ大工チャックと、高速かつ正確なホイールドレッシング用の2軸電動ポリッシングスピンドルが含まれています。可変的な速度ドライブおよび手動車輪制御は正確に制御された車輪の速度を可能にし、可変的な高さの車輪の皿は2つまでモーターを備えられたまたは手動車輪を握ります。このユニットには、手で磨くための手動式ホイールヘッドも含まれています。このマシンは使いやすく、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンコントローラとオンボード診断機能を備えています。自動化されたコンベアツールは、効率的な材料の積み下ろしを可能にし、低圧空気排気資産は優れた空気ろ過と制御を可能にします。このモデルには、バーコードリーダー、ツールボックスドアインターロック、自動インターロックシーケンス、および機械の安全な使用を確保するための緊急停止ボタンなど、組み込みの安全機能も備えています。この装置は、最高レベルの精度と信頼性を提供するように設計されており、幅広いウェーハ処理アプリケーションに適しています。高レベルの表面仕上げと平坦性、優れたエッジ精度を実現します。このシステムは、高い研削速度と高速プロセス制御時間を提供することにより、サイクル時間を短縮し、スループットを最大化するように設計されています。EBARA EPO-2228Dユニットには、複数の研削ホイール、スプレーメート加工機、ウェハプロセスモニター、熱制御ツール、真空および液体送りシステムなど、さまざまなオプションを装備できます。アセットも柔軟性が高く、多くのお客様の仕様や要件に合わせて構成することができます。EPO-2228Dは、ウエハ研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。高い精度と信頼性を提供するように設計されており、幅広い半導体およびその他の製造用途において、優れたレベルの表面仕上げ、平坦度、およびエッジ精度を提供します。
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