中古 EBARA EPO-2228 #9203972 を販売中

EBARA EPO-2228
ID: 9203972
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
CMP System, 8" 1998 vintage.
EBARA EPO-2228ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体、電子材料、光学材料の精密表面仕上げのための高度で自動化されたソリューションです。このシステムは、高精度MEMSコンポーネントから超高密度光導波路まで、幅広い先進デバイスの製造とテストが可能です。EBARA EPO2228の中核には、高性能スピンドルモータと関連ドライブユニットがあり、多くのハイエンド用途において重要なレベルの精度で超精密でプログラマブルな研削、ラッピング、研磨作業を行います。モータは超硬やダイヤモンドなどの高強度材料と合わされているため、高温合金や硬質セラミックなどの最も困難な材料にも容易に対応できます。このマシンには多くの高度なプログラマブル機能が装備されており、繰り返し可能なシングルステップ操作、バッチ生産実行、および自動テストシーケンスを可能にします。このソフトウェアは、カスタムのワークホールディング治具の使用をサポートし、柔軟で反復可能な操作を可能にします。これにより、オペレータはプロセス設定ポイントをすばやく確立し、ある材料タイプから別の材料に切り替えるときにこれらの正確な設定を繰り返すことができます。EPO 2228マシンには、予期しないプロセス中断が発生した場合に、最終検証済みの研削、ラッピング、研磨プログラムを自動的に呼び出すインテリジェントなエラー回復機能も装備されています。この機能は、ツールが誰かが介入するのを待たずにプロセスを即座に再開できるようにすることで、生産をスピードアップするのに役立ちます。このアセットは、プロセスの完全性を確保し、お客様の要件を満たすレベルの精度を保証するために、正確なインプロセス測定も可能です。組み込みモニタリング機能は、材料がさらに処理される前にオペレータに問題を警告することもでき、即座に是正措置を講じることができます。EPO2228ウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、要求の厳しい材料を製造および試験するための非常に正確で自動化されたソリューションです。比類のない精度と自動化されたプロセス制御を組み合わせることで、高い歩留まりとコスト削減を実現し、信頼性の高い高品質な製品を保証します。
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